Грабитель для избирательного травления пленок олова

Грабитель для избирательного травления пленок олова

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 387542

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Соеетскил

Социалистических

Реслублнк

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 1611!.1972 (№ 1759277/26-9) с присоединением заявки М

Приоритет

Опубликовано 21.Ч1.1973.,Бюллетень оче 27

Дата опубликования описания 1.Х.1973

М. Кл. Н 05k 3/06

С 23f 1/00

Комитет ло делам изобретений и открытий лрн Совете Убиннстрое

СССР

УДК 621.794.422.7:621. .3.049.75 (088.8) Автор,ы изобретения

Э. И. Матусевич, В. К. Рець и Ю. А. Дядюн

Заявитель

TPABHTEJIb ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ

ПЛЕНОК ОЛОВА

Изобретение относится к технологии Ilpo. изводства радиодеталей и может быть использовано при изготовлении гибридных пленочных микросхем. Известен травитель для избирательного

Травления пленок олова,,нанесенных на полимерный материал и защищенных слоем фоторезиста в соответствии с получаемым рисунком, содержащий смесь азотной, соляной и уксусной кислот с водой.

Однако травление пленок олова в концентрированных кислотах приводит к интенсивному разрушению как полимерного материала, так и фоторезиста, защищающего пленки олова в процессе травления.

Целью изобретения является сохранение полимерного материала и фоторезиста в процессе травления.

Для этого в травитель дополнительно введен азотнокислый натрий и глицерин при следующем соотношении компонентов, в вес. %.

Азотная кислота (уд. вес 1,41) 3 — 6

Соляная кислота (уд. вес 1,18) 5 — 9

Уксусная кислота (ледяная) 20 — 31

Вода (дистиллированная) 10 — 19

Азотнокислый натрий 3 — 6 ,Глицерин Остальное

Наличие глицерина в предлозкенном травителе исключает смачивание травителем полимерного материала в процессе избирательноro травления элементов микросхем, выполненных из пленок олова, например верхних обкладок пленочных конденсаторов, что позволяет .изготавливать их методом фотолито5 графии без нарушения слоя полимера.

Азотнокислый натрий, .входящий в состав травителя, увеличивает устойчивость фоторезпста в процессе травления пленки олова без предварительной термической обработки

10 (дубления) фоторезиста при высоких темпе.ратурах. Соотношение кислот подобрано таIi„Ill образом, чтобы получить BblcoKHe cllopoo стн травления (6000 А/чин при температуре

20 С) с минимальным боковым подтравливанием.

Изобретение поясняется следующим примером.

На ситалловую подложку напыляют слои о никеля толщиной 4000 — 6000 А. Затем методом фотолитографии изготавливают нижние обкладки кислотных конденсаторов, На нижние обкладки из никеля напыляют полимер на основе силикона в тлеющем разряде при полимеризацпи мономера гектаметплднсплоксао на толщиной 5000 A. Затем на пленку полимера напыляют олово толщиной 6000 А н наносят фоторезист ФП-334 на центрифуге при

30 скорости вращения 1200 — 1400 об/.чин. Высу3 шивают при температуре 95 — 100 С в течение 15 — 20 мин, экспонируют и проявляют.

Подготовленную таким образом подложку помещают в травитель следующего состава:

Азотная кислота 1,41 уд. вес 4 мл

Соляная кислота 1,48 уд. вес 7 мл

Уксусная кислота (ледяная) 23 мл

Азотнокислый натрий 5 гр

Глицерин 47 мл

Вода (дистиллированная) 14 мл и вытравливают рисунок верхних обкладок пленочных конденсаторов.

Окончание процесса травления фиксируют визуально. Скорость травления пленок олова в травителе приведенного состава составляет о

6000 А(мин при температуре 20 С. После отмывки подложки в дистиллированной воде производят удаление фоторезиста в ацетоне, диоксане или других органических растворителях.

387542

Предмет изобретения

Азотная кислота (уд. вес 1,41) 3 — 6

Соляная кислота (уд. вес 1,18) 5 — 9

Уксусная кислота (ледяная) 20 — 31

Вода (дистиллированная) 10 — 19

Азотнокислый натрий 3 вЂ

Глицерин Остальное

Травитель для избирательного травления пленок олова, нанесенных .на полимерный ма5 териал и защищенных слоем фоторезиста в соответствии с получаемым .рисунком, содержащий смесь азотной, соляной и уксусной кислот с водой, отличающийся тем, что, с целью сохранения полимерного материала и фо10 торезиста в процессе травления, травитель дополнительно содержит азотнокислый натрий и глицерин при следующем соотношении компонентов, в .вес, :

Составитель Е, Ковалева

Редактор А. Зиньковский Техред Т. Ускова Корректор Л. Орлова

Заказ 2565/16 Изд. Мз 699 Тираж 755 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-З5, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2