I гсь^союзная
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
Союз Советских
Социалистических
Республик
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Я АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое or авт. свидетельства №
Заявлено 28Х1.197) (№ 1677172/23-26) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 05.И1.1973, Бюллетень № 29
Дата опубликования описания 2.XI.1973
М. Кл. В 01j 17/14! осударственный комитет
Сонета Министрае СССР по делам изобретений и открытий
УДК 669.046-172:621. .315.592 (088.8) :. : . -.: O! ОЗНАЯ
В. Н, Лозовский, В. П. Попов и И. П. Папков
Б14яЛИ(. -КА
Новочеркасский ордена Трудового Красного Знамени политехнический институт им. Серго Орджоникидзе
Авторы изобретения
Заявитель
СПОСОБ ЗОННОЙ ПЛАВКИ С ГРАДИЕНТОМ ТЕМПЕРАТУРЫ
Предмет изобретения
Известен способ зонной плавки с градиентом температуры (ЗПГТ), постоянным по дл и не зоны.
При этом в процессе д вижания зона изменяет свою форму, распадается на отдельные части и движется нестабильно.
С целью устранения нестабильности движения жи|дкой зоны по предлагаемому способу плавку ведут в условиях градиента температуры, изменяющего направление на расстоянии, не большем длины зоны от фронта кристаллизации.
На чертеже представлено распределение температуры в композиции кристалл — расплав — кристалл.
Направление градиента температуры указано стрелками: íà поверхности кристаллизации градиент температуры совпадает с направлением V rпrеeр еeмMеerщrrеeнHиHя H з3оoнHbыr, а на поверхности плавления он изменяет свое напра вление на 180 (или обращается в нуль).
При указанных условиях ЗПГТ фронт плавления стабилизируется, так как в случае образования выступа жидкой фазы, последний попадает в область меньших температур и зарастает, а, любая впадина на фронте плавления, попадая в область более высоких температур, исчезает за счет ускорения pBlcтворения.
Требуемое распределение температуры достигают в нагревателе в виде одного или двух цилиндрических стержней или относительным перемещением полупроводникового образца и нагревателя.
По описываемому способу получены
10 элитаксиальные слои различной геометрии протяженностью до 15 мм в системе кремний — алюминий. Скорость роста слоев при температуре 1050 — 1100 С составляет 0,9—
1,2 мм/час. Пслученные слои имеют высокую
15 однородность распределения алюминия и монокристалличность структуры.
20 Способ зонной плавки с прадпентом температуры, отличающийся тем, что, с целью устранения нестабильности движения жидкой зоны, плавку ведут в условиях градиента температуры, изменяющего направление на
25 расстоянии, не большем длины зоны от фронта кристаллизации. о88780
Составитель Е. Шевченко
Техред T. Курнлко
Редактор Е. Левина
Корректор Е, Сапунова
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 2937/11 Изд. № 775 Тираж 678 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5