Патент ссср 389458
Иллюстрации
Показать всеРеферат
389458
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
И АВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. сватдетельства №
Заявлено 05Х.1971 (№ 1659569/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 05Х11.1973. Бюллетень № 29
Дата опубликования описания 12.XI.1973
М. Кл. G 01п 31/08
G 0ln 25/18
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изооретений и открытий
УДК 543.544(088.8) Авторы изобретения
Э. Я. Алкснис, Б. П. Охотников, Л. Н. Бабурова, В. С. абалкин, Ю. А. Горюнов и Н. В. Петровых
Всесоюзный научно-исследовательский проектно-конструкторский институт комплексной автоматизации нефтяной и газовой промышленности
Заявитель
ТЕРМО КО НДУКТОМЕТРИ Ч ЕСКИ Й ДЕТЕКТОР ДЛЯ ГАЗОВОЙ
ХРОМАТОГРАФИ И
Изобретение относится к детектирующим устройствам для газовой хроматографии (катарометрам), которые сра|вн ивают теплопро,водности чистого газа-носителя и газа-носителя, смешанного с анализируемым кометонентом, Известен детектор, в котором с целью уменьшения объема камеры, повышения чувствительности и упрощения технологии изготовления, чувствительный элемент выполнен в виде пластины |из диэлектрика с нанесенной на ее поверхность металлической токопроводящей дорожкой.
Недостатками этого детектора являются низкий темпера турный коэффициент сопротивления металла, что ограничивает чувствительность, нестабильность электрических характеристик тонких металлических ттленок, особенно при высоких температурах, и связанный с этим высокий уровень шумов и малый срок службы.
В предложенном детекторе указанные недостатки устранены благодаря тому, что чувствительный элемент выполняется в виде тонкой пластины из полупроводникового стекла, закрепленной по периметру в металлической оправе. Электроды наносятся с обеих сторон на эту пластину, например, вакуумным напылением. Та ким образом, ток через пластину протекает в направлении, перпендикулярном ее поверхности. Сопротивление такого чувствительного элемента зависит от толщины пластины и площади нанесенных на ее поверхность электродов.
5 Описанный способ подвода питания позволяет получить приемлемые .величины сопротивлений чувствительных элементов из полупроводникового стекла, удельное сопротивление которого весьма велико. Полупроводнико10 все стекло сохраняет достаточно высо|кие механические и электрические характеристики при температурах до 500 . Свойства же металлических электродов, нанесенных на поверхность полупроводниковой пластины, и их
15 поведение при высоких температурах не влияют íai работу чувствительных элементов,,поскольку толщина электрода может быть сделана достаточно большой, чтобы, с одной стороны, уменьшить их нестабильность, а с дру20 гой — сделать их сопротивление пренебрежимо малым по сравнению с .сопротивлением пластины из полупроводникового стекла.
На чертеже схематично изображена одна из ячеек предлагаемого детектора .
25 Ячейка имеет .корпус 1 с газовым каналом
2, в котором размещен чувствительный элемент, п|редставляющий собой тонкую пластину 8 из,полупроводникового стекла, закрепленную по,периметру в металлической опра30 ве 4. Электроды 5 и б (тонкие слои металла) 389458
Составитель Л. Жаркова
Редактор Т. Орловская Текред 3. Тараненко Корректор А. Дзесова
Заказ 2948/1 Изд, № 778 Тираж 755 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 нанесены на пластину 3 с обеих сторон. С помощью электродов чувствительный элемент включается в качестве одного из плеч в обычную мостовую измерительную схему. Ток, проходящий через полупроводниковое стекло, нагревает его до температуры, определяемой, с одной стороны, мощностью, .выделяемой в стекле, и с другой — условиями теплоотдачи от чувствительного элемента к стенке камеры, которые зависят, в частности, от теплопроводности газа, омывающего чувствительный элемент. Изменение состава газа прои элюировании компонента из хроматографической колонки и связанное с этим изменение температуры чувствительного элемента и, следовательно, его сопротивления вызывает,появление сигнала небаланса на измерительной диагонали моста.
Предмет изобретения
5 Термокондуктометрический детектор для газовой хроматографии с чувствительным элементом, выполненным из полупроводникового материала с металлическими контактами, отличающийся тем, что, с целью увеличения
10 чувствительности и расширения ра бочего диапазона температур, чувствительный элемент выполнен в виде тонкой пластины, например, из полупроводникового стекла, закрепленной по периметру в металлической о праве, а ме15 таллические контакты выполнены,в виде слоев металла,,покрывающих обе стороны пластины.