Устройство для нанесения полупроводящего слоя

Устройство для нанесения полупроводящего слоя

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

390203

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

М. Кл. С 23с 17/ОО

Заявлено ЗО.Х.1970 (№ 149607?/22-1) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 11 VII.1973. Бюллетень . А ЗО

Дата опубликования описания 19.XI.1973

Гасударственный камитет

Совета Министрав СССР па делам изааретеннй и аткрытий

УДК 621.793.06(088.8) Авторы изобретения

Н. С. Розин, Б. Н. Брагин, В. К. Переверзев, А. Ф. Васина, В. А. Штыканов и T. М. Караджали

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОЛУПРОВОДЯЩЕГО СЛОЯ

НА ОСНОВЕ ДВУОКИСИ ОЛОВА АЭРОЗОЛЪНЪ|Ч МЕТОДОМ

HA ВНУТРЕННИЕ ПОВЕРХНОСТИ КАНАЛОВ

Изобретение относится к технологии изготовления электронных приборов, имеющих электропроводящие полупроводниковые слои на основе двуокиси олова, нанесенные на внутренние поверхности цилиндров или каналов.

Известно устройство для нанесения полупроводящего слоя на основе двуокиси олова аэрозольным методом на внутренние поверхности каналов, содержащее испаритель с раствором четыреххлористого олова и легирующими добавками, соединенный посредством газопровода с герметизированной рабочей камерой, расположенной в жаровом пространстве нагревательной печи.

Предложенное устройство отличается от известного тем, что внутри рабочей камеры укреплены поджимаемые шайбой уплотпяющие прокладки, между которыми установлены обрабатываемые каналы, причем в уплотняюших прокладках выполнены отверстия, совпадающие по форме с торцовой поверхностью каналов. Это позволяет сокращать расход рабочей смеси и эффективно защищать боковую поверхность каналов от воздействия этой смеси.

На чертеже показано описываемое устройство.

Устройство состоит из испарителя 1 с раствором четыреххлористого олова и легирующими добавками, соединенного посредством газопровода 2 с герметизированной рабочей камерой 8, расположенной в жаровом пространстве нагревательной печи 4. Внутри рабочей камеры 8 укреплены поджимаемые шай5 бой 5 уплотняющие прокладки 6, между которыми установлены обрабатываемые каналы 7.

В уплотняющих прокладках б выполнены отверстия, совпадающие по форме с торцовой поверхностью каналов 7.

10 Испаритель представляет собой баллон, имеющий патрубок 8 для подачи в испарител воздуха или кислорода. Испаритель оборудован также подогревателем 9 для подогрева раствора. Рабочая камера 3 снабжена двумя

15 патрубками. Патрубок 10 соединяется газопроводом 2 с испарителем, а патрубок 11 с устройством для создания разрежения.

Рабочую камеру с установленными в ней каналами 7 вводят в жаровое пространство нагревательной печи 4 и прогревают до температуры 450 — 550 С. Раствор хлорного олова разогревают в испарителе 1 до температуры

85 C при помощи подогревателя 9. Устройство для получения разрежения, например во;оструйный насос, подключенный к натрубку II рабочей камеры, создает разрежение в рабочей камере, газопроводе, соединяющем paGoчий объем с испарнтелем, и в само.{ испарителе, куда одновременно подается также отфиль30 троганный воздух или кислород.

390203 б;

Типография, пр. Сапунова, 2

Рабочая смесь, образующаяся в испарителе. засасывается в рабочий объем за счет разрежения, создаваемого водоструйпым насосом.

Поток паров рабочей смеси полностью проходит сквозь каналы, равномерно омывая их внутренние IIoBEpxEIOcTH. При этом на внутренних поверхностях каналов и их торцах происходит гидролиз солей хлорного олова с образованием полупроводящего слоя. Точные значения температуры разогрева рабочего ооъема, 10 величины разрежения и количества подаваемого воздуха или кислорода устанавливаются в зависимости от материала каналов (стекло, керамика, кварц и т. п.) и требуемого сопротивления полупроводящего слоя. 15

Так как для работы предлагаемого устройства не требуется получения высокого вакуума, требования к материалам для уплотняющих прокладок не являются жесткими. Прокладки могут быть изготовлены из любого до- 20 статочно мягкого материала, выдерживающего рабочие температуры, при которых идет процесс образования полупроводящего слоя, например из асбеста, стеклоткани и т. д.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения полупроводящего слоя на основе двуокиси олова аэрозольным методом на внутренние поверхности каналов, содержащее испаритель с раствором четыреххлористого олова и легирующими добавками, соединенный посредством газопровода с герметизированной рабочей камерой, расположений в жаровом пространстве нагревательной печи, отличающееся тем, что, с целью сокращения расхода рабочей смеси и эффективнои защиты боковой поверхности каналов от воздействия этой смеси, внутри рабочей камеры

5 креплены поджимаемые шайбой уплотняю.цие прокладки, между которыми установлены обрабатывас мые каналы, причем в уплотняющих прокладках выполнены отверстия, совпадающие по форме с торцовой поверхностью каналов.

Составитель А, Смирнова

Редактор Н. Корченко Техред Е. Борисова

Корректоры: Н. Стельмах и Н. Учакина

Заказ 3018/5 Изд. № 1747 Тираж 826 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета

Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5