Патент ссср 391637

Патент ссср 391637

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ (и) 3%бЗУ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

РеспублиК (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 08.07.71 (21) 1678504/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05.09,74. Бюллетень № 33

Дата опубликования описания 11.05.75 (51) М. Кл. Н ОЦ 9 02

Н oi) 1go

Гасударственные комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений (53) УДК 621.385.032. .212 (088.8) и открытий (72) Авторы изобретения

Л. И. Андреева, H В. Егоров, Г. Н. Фурсей и А. И. Южин (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОВАКУУМНОГО

ПРИБОРА

Предмет изобретения

Известны способы изготовления электровакуумных приборов с автоэлектронными катодами из полупроводниковых материалов различного типа проводимости, включающие операции формирования катода и установку его в прибор с последующей термообработкой.

Однако при реализации этих способов характеристики приборов нестабильны за счет изменения работы выхода устройства и соответствующего изменения эмиссионного тока во времени. Кроме того, реализация известных способов достаточно сложна.

Цель изобретения — повышение стабильности характеристик прибора и упрощение его изготовления, Это достигается тем, что катодную заготовку изготавливают из полупроводникового материала, имеющего такую концентрацию носителей электрического заряда в зоне проводимости, чтобы при воздействии на катод внешним электрическим полем поток электронов из полупроводника на границу раздела «полупроводник в вакуум» был равен заданному току эмиссии, после чего в процессе изготовления прибора формируют геометрию катода, помещают катод в прибор и откачивают прибор до давления не ниже 10 — 4 мм рт. ст., а за,.тем прогревают при.. 80 — 300 C в течение

10 — 50 час.

В качестве исходного материала катодов может быть выбран высокоомный проводник и-типа с концентрацией носителей заряда в зоне проводимости не более 5 10" или полу5 проводник р-типа с концентрацией носителей не более 1 ° 10". Заготовке из полупроводника придают форму острия или системы острий, затем эмиттирующую систему устанавливают в прибор, откачивают до давления не ниже

10 10 — 4 мм рт. ст., в зависимости от типа полупроводника, и ведут термообработку при 80—

300 С в течение 10 — 50 час.

Указанные режимы определяют из условия равенства заданного тока эмиссии потоку

15 электронов из полупроводникового материала на границу раздела «твердое тело полупроводника — вакуум прибора».

Изготовленные предлагаемым способом катоды не требуют высокого вакуума, что зна20 чительно упрощает изготовление различных эмиттирующих систем. Кроме того, при таком способе изготовления автоэмиссионные катоды имеют стабильные во времени характеристики, что позволяет широко использовать их в

25 электронных устройствах.

Способ изготовления электровакуумного

30 прибора с автоэлектронным катодом из полу. 391637

Составитель Г. Жукова

Техред В. Рыбакова

Корректор Т. Котова

Редактор А. Батыгин

Заказ 1113/1 Изд. № 494 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, п р. Сапунова, 2 проводникового материала, содержащий операции формирования катода и установки его в прибор с йоследующей термообработкой, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности характеристик прибора и упрощения его изготовления, катодную заготовку изготавливают из полупроводникового материала, имеющего такую концентрацию носителей заряда в зоне проводимости, чтобы при воздействии на катод внешним электрическим полем поток электронов из полупроводника на границу раздела «полупроводник — вакуум» был равен заданному току

5 эмиссии, после чего формируют геометрию катода, помещают катод в прибор и откачивают прибор до давления не ниже 10 — 4 мм рт. ст., а затем прогревают при 80 — 300 С в течение

10 — 50 час.