Способ изготовления болометра
Патент 397766
Авторы
Классы МПК
Способ изготовления болометра
Иллюстрации
Реферат
О П И С А Н И Е 397766
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”,Ц. Кл. О Olo 5,00
Заявлено 18Х.1971 (№ 1659907/18-10) с присоединением заявки ¹â€”
Приоритет
Опубликовано 17.!Х.1973. Бюллетень ¹ 37
Дата опубликования описания 29.1.1974
Государственный комитет
Савета Министров СССР па делам изобретений и открытий
i ÄК 535.231.62 (088.8) Авторы изобретения
Л. С. Кременчугский, В. С. Лысенко, В. Б. Самойлов, И. П. Федорченко и А. Ф. Мальнев
Заявитель
Институт физики АН Украинской ССР
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БОЛОМЕТРА
Изобретение относится к технологии изготовления приемников излучения — металлических болометров. Известны металлические болометры, выполненные на основе металлической пленки. 5
Известен способ изготовления металлического болометра на основе никелевой пленки, заключающийся в следующем. Тонкий слой никеля электролитически наносят на медную подложку, заготовку разрезают на полоски 10 нужных размеров и опускают их в растворитель, в котором скорость растворения меди во много раз больше, чем никеля. В качестве растворителя медной подложки используют цианистый калий. При растворении меди в ls этом растворителе интенсивно выделяется водород, что приводит к механическому повреждению никелевой пленки (образованию пор, надрывов). После растворения подложки на полученную таким образом в свободном со- 20 стоянии никелевую пленку распылением в инертной среде наносят поглощающее покрытие — золотую чернь. Затем никелевую пленку с нанесснным на нее поглощающим покрытием присоединяют с помощью точечной свар- 25 ки к держателю для получения контакта. Однако никелевую пленку получают с механическими повреждениями (поры, надрывы) из-за скручивания пленки после растворения фольги ввиду наличия остаточных внутрен- 30 них напря?кений в подложке. Благодаря этому никелевые пленки возможно получить толщиной не менее 0,15 — 0,5 мкм и чувствительность болометра прп такой толщине пленки не превышает (10 — — 10 — вт/гц, ). Кроме того, поглощающее покрытие не обеспечивает равномерности спектральной характеристики в широком спектральном интервале, несмотря на то, что болометры обладают большой постоянной времеш1 (порядка 30 м/сск). Точечная сварка при присоединении никелевой пленки к держателю приводит к возникновению нсомнческого контакта пленка-держатель, приводящего к избыточному шуму прп прохождении тока.
По предлагаемому способу чувствительный элемент получают путем электролитического нанесения на ото?кженную в вакууме медную фольгу, на которую предварительно наносят подслой серебра. После этого медную фольгу и подслой серебра стравливают в растворе хромового ангидрида и аммония сульфата, оставляя свободной никелевую пленку. Затем наносят золотую чернь на никелевые пленки, охлажденные до температуры не выше температуры жидкого азота в инертной среде.
Это уменьшаег толщину никелевой пленки до
0,05 — 0,07 мкм, что приводит к повышению чувствнтсльностп н снижению постоянной времени болометра. Следующим этапом при из397766
Предмет изобретения
Составитель И. Рывкина
Корректор О. Тюрина
Текред T. Курилко
Редактор О. Филиппова
Заказ 44j6 Изд. № 18 Тираж 755 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, K-35, Раушская наб., n. 4, 5
Типография, пр. Сапунова, 2
3 готовлении болометра с равномерной спектральной характеристикой и малой инерционностью является нанесение поглощающего покрытия, которым служит золотая чернь.
При этом получают золотую чернь с содержанием окислов вольфрама 0,01 — 0,3%, слоем с теплоемкостью, равной одной трети теплоемкости никелевой пленки. Для исключения избыточных шумов вместо точечной сварки пленку припаивают к никелевому держателю сплавов 60 /о олова и 40 /о свинца.
Способ изготовления болометра на основе никелевой пленки без подложки путем нане4 сепия никеля на медную фольгу, стравливания медной фольги, последующего нанесения на никелевую пленку поглощающей черни и получения контакта между никелевой пленкой
5 и держателем, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности болометра, снижения его постоянной времени и получения равномерной спектральной характеристики, перед нанесением слоя никеля на медную
10 фольгу ее предварительно отжигают в вакууме, наносят на нее слой серебра и после нанесения слоя никеля стравливают как медную фольгу, так и слой серебра, например, в растворе хромового ангидрида аммония сульфата, i5 затем помещают пленку в инертную среду с температурой не выше температуры жидкого азота и покрывают золотой чернью,