Л\икромаиипу.пятор
Иллюстрации
Реферат
1
О П И С А Н И Е 400459
И.ЗОБРЕТЕ Н ИЯ
К АВТОРСКОМУ CQH ВТИЛЬС1ВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”
Заявлено 02.У!1.1971 (№ 1674375/25-8) М. К, В 2"1 7/00 с присоединением заявки X
Госурарстоеииый комитет
Совета Мииистроа СССР
Il4 делам изобретеиий и открытий
11риоритет-Опубликовапо 01.Х.1973. Бюллетень ¹ 40
Дата опубл!!кова!(!!я описа!!!!я 1.1\ .19!74
УД1 62-231.24 (088.8) С. Л. Брайнин, Б. И. Лотвин, В. A. Плавинский, В. H. Широков и
Е. А. Кусман
Авторы изобретения
Заявитель
МИКРОМА11И ПУЛЯТОР
Изобретение относится к области точной механики.
Известны микроманипуляторы с рабочим столом, установленным с тремя степенями свободы в планках, привод которого выполнен в виде объемной гидра влическо!! передачи.
Предлагаемый аоикромани!пулято!р QT; èчается от из!вестных тем, что привод рабочего стола выполнен в ви!де образованных в зазорах между поверхностями рабочего стола и планками аэростатических (гидростатических) подушек, регулируемых по толщине за счет изменения расхода газа (жидкости), причем система питания любых двух противоположно расположенных подушек выполнена диффер ен ци а л ьн ой.
Это обеспечивает получ ние точных микроперем ещен и й.
На фиг. 1 и 2 изображена конструктивная схема предлагаемого микроманипулятора.
Микроманипулятор содержит рабочий стол 1, который вз!вешен в трех замкнутых аэростатп !еских (гидростатичеоких) направляющих, каждая из,которых образована двумя .противоположно расположенными аэростатическими (гидростатическ ими) подушками 2и 8,4 и 5,6и 7. Подушии 2 и8 образованы в зазорах между рабочим столом и планками 8 и 9, подушки 4 и 5 — между ра2 бочим столом и планкамп 10 и 11, а подушки 6 и 7 — между рабочим столом и планками 12 и 18.
Устройства 14, 15, 16 регулирования расхода газа предназначены для изменения толщин аэростатических (гидростатичеоких) подушек, соответственно 6 и 7, 4 и 5, 2 и 8. Газ (жи!дкость), образующий аэростати!чеокие подушки, подается через каналы, имеющиеся в планках 8 — 18.
Микроперемещения рабочего стола возможны по трем координатам Х, У, Z, перпендикулярно которым .расположены пары подушек2и8,4 и 5,6п 7.На рабочий стол с
15 противоположных сторон действуют аэростатические (гпдростатичеакие) подушки с силами, равнодействующая которых равна нулю. При этом рабочий стол зафиксирован в данном положении.
20 Прп увеличешш расхода газа (жидкости) в одной аэростатической (ги!дростатичеокой) подушке (например, в третьей) и одновременном уменьшении расхода газа (жидкост!и) в другой (например, во второй) давление га25 за (жидкости) в аэростатической (гидростатической) подушке 8 увеличится, а в подушке 2 уменьшится. В результате этого нарушается равновесие спл, действующих на рабочий стол по оси Х, и он начинает переь1а30 щаться в сторону, подушки 2. В результате
400459
Фиг.1
12 у1, Составитель В. Тупицыиа
Техред Т. Курилко
Корректор В. Брыксина
Редактор О. Юркова
Заказ 7160 Изд. ¹ 1981 Тираж 780 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Загорская типог11афия движения зазор между p360 lèì сто;1Оы и планкой 8 увеличивается, а между рабочим столом и планкой 9 уменьшается. В увеличивающемся зазоре давление в подушке меньшается, а в уменьша1ощгмся зазоре увеличивается. Двии<енн< происходит I0 тех пор, пока силы, действу1ощие па рабо1ий стол по осп Х, не уравновесится. Прп перемещении рабочего стола по одной координате (например, Х) подушки 4 II 5, 6 и 7 III,lïîëèllloò ф ун кц и и ап р а вл яюп<п х.
Движение рабочего стола по оси Л возможно 11 при изменении рас.<ода газа (жидкости) в одной из аэростатпческих (ги дростатпческих) подушек (например, второй или третьей) .
Описанный процесс движения ревевсивен.
Перемещен не рабочего стола по любой координате аналогично перемещению по оси Х и может осуществляться одновременно.
Предмет изобретения
1. Микроманппулятор с .рабочим столом, стано влецным с тремя степенями свободы в планках, привод которого связан с усъройст«Ом регулирования расхода газа (жидкости), отлачашщайся тем, что, с целью получения точных мииропереме<щенпй1, привод рабочего
10 стола .выполllеп в виде образован<ных в зазорах между поверхностями рабочего стола <и планками аэростатических (ги дростатических) подушек, регулируемых по толщине за счет из IeileIIII II р Я схода Гс!за (II< IIpI
15 2. Микромапипулятор по п; 1, отличающий."я тем, что система пи|тания лю бых двух противоположно расположенных аэростатических (гидростатических) подушек выполнена дифференциальной.