Устройство для вытягивания слитков из расплава
Иллюстрации
Показать всеРеферат
1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫТЯгаВА- НИЯ СЛИТКОВ ИЗ РАСПЛАВА на затравку, включающее ввденный сверху в полость камеры, полый шток с затравкодержателем, прикрепленным к нему;При помощи тяги, передающей соотвествующее весу слитка усилие на тензоэлементы, отличающееся тем, что, с Делью-повышения точности контроля веса вытягиваемого слитка, тяга с длиной, превьшающей длину штока, подвешена на упруго деформирующейся мембране, кинематически связанной с несущейтензоэлемен-i ты консольной балкой.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью устранения перепада давления по сторонам мембраны, консольная балка с тензоэлементами установлена в полости герметичного корпуса.S
СООЭ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (() (11) (5!)4 С 30 В 15!28
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 1492131/23-26 (22) 12.11.70 (46) 07.06.85. Бюп. И. 21 (72) В.В. Батюков, И.Н. Воронов, Н.И. Казимиров, А.В. Ктиторов, В.С. Лейбович, Х.И. Макеев, Ю.И. Ульянов, В.П. Рогожин, Б.В. Смирнов и Ю.И. Хлус (71) Подольский химико-металлургический завод (53) 669.046-172.002.5(088.8) (54)(57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫТЯГИВАНИЯ СЛИТКОВ ИЗ РАСПЛАВА на затравку, включающее ввденный сверху в полость камеры, полый шток с затравкодержателем, прикрепленным к нему при помощи тяги, передающей соотвествующее весу слитка усилие на тензоэлементы, о т zf и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью .повьппения точности контроля веса вытягиваемого слитка, тяга с длиной, превышающей длину штока, подвешена на упруго деформирующейся мембране, кинематически связанной с несущей тензозлемен- i ты консольной балкой.
2. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью устранения перепада давления по сторонам мембраны, консольная балка с тензоэлементами установлена в полости герметичного корпуса.
406402 2 шток 2, закрытый сверху гофрированной мембраной 3. l7o оси штока на мембране подвешена тяга 4, на нижнем конце которой укрепляют затравкодержатель (на чертеже не показано).
Усилие, соответствующее весу слитка 5, в процессе вытягивания передается с мембраны на консольную балку 6 с тенэоэлементами 7 посред10 ством скобы 8.
Для возможности ликвидации перепада давления по сторонам мембраны, консольная балка с тензоэлементами установлена в полости герметичного
15 корпуса 9.!
Изобретение относится к вытягиванию и расплаву слитков, преимущественно монокристаллов полупроводников по способу Чохральского.
В известном устройстве для .вытягивания слитков из расплава на затравку, включающее введенный сверху в полость камеры полый шток с затравкодержателем, прикрепленным к нему при помощи тяги, передающей, соответствующее весу слитка усилие на тензоэлементы, С целью повышения точности контроля веса вытягиваемого слитка в предлагаемом устройстве тяга с длиной, превышающей длину штока, подвешена на упруго деформирующейся мембране, кинематически связанной с несущей тензоэлементы консольной балкой. 20
Для устранения перепада давления по сторонам мембраны консольная балка с тензоэлементами установлена в полости герметичного корпуса.
На чертеже изображена схема пред- 2S лагаемого устройства.
Устройство включает введенный сверху в полость камеры (на чертеже не показано) через уплотнение 1 полый
Тензоэлементы, наклеенные на верхнюю и нижнюю поверхность балки и собрайные в схему электрического моста, воспринимают усилия растяжения и сжатия. Выходной сигнал моста через контакты 10 подается на электронный усилитель, регистрирующий прибор или корректирующее устройство (на чертеже не показано).
Шток с тягой в процессе вытягивания вращают. Корпус 11 с токосъемниками 12 перемещают по вертикали вместе со штоком, но не вращают.
406402.
Составитель
Редактор Л. Письман Техред Т.Дубинчак
Корректор И. Эрдейи
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4
Заказ 5718/1 Тираж 357 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5