Патент ссср 411038
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Совв Советское
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 25.Х.1971 (№ 1708593/23-26) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 15.1,1974. Бюллетень № 2
Дата опубликования описания 5Х1.1974
М. Кл. С Olh 33/18
Гасударственный камитет
Саввта Министров СССР аа делам иэабретений и аткрытий
УДК 621.382.002 (088.8) Авторы изобретения
В. В. Селин, А. Г. Петрик и В. И. Бакуменко
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОРОШКОВ И НАПЫЛЕННЫХ
ИЗДЕЛИЙ ИЗ ДВУОКИСИ КРЕМНИЯ
А
Изобретение относится к области химической технологии, причем получаемая двуокись кремния может найти применение как полировочный материал, в полупроводниковой технике, в технологии изготовления изделий из синтетического кварцевого стекла и т. д.
Известен способ получения порошков из двуокиси кремния методом парогазового гидролиза тетрахлорсилана. По этому способу пары тетрахлорсилана подают в пламя горелки, получаемое сжиганием в кислороде водорода илн водородсодержащего газа. Образующуюся в пламени двуокись кремния либо собирают в виде порошка, либо осаждают на вращающейся оправке. Однако указанный процесс характеризуется малой скоростью осаждения двуокиси кремния и не обеспечигает регулирования диспсрспости порошков и плотности напыленного слоя.
Для интенсификации процесса, получения более плотных пленок, а также регулирования дисперсности предлагается получать двуокись кремния сжиганием смеси паров трихлорсилана с водородом в кислороде.
По описываемому способу в центральный канал трехканальной горелки внешнего смешения подают смесь паров трихлорсилана с водородом, в средний канал — кислород и в наружнын канал — водород. Изменением количества водорода в парогазовой смеси можно в широких пределах регулировать температуру в зоне образования и осаждения двуокиси кремния. Наилучшие результаты полу чают при подаче в горелку смеси трихлорсилана и водорода при молярном отношении
31НС1 . Н, равном 0,04 — 0,5, н прн скорости
5 истечения смеси 20 — 100 м/сек. Для получения гомогенной смеси перед подачей в тарелку ее подогревают. Применение трихлорсилана в смеси с водородом позволяет резко увеличить скорость осаждения двуокиси
10 кремния прн напылении сс на оправки. Так, например, прн расходе трихлорсилана 50 г/м скорость осаждения равна 6,5 г, мнн, тогда как по известному способу (где используется четыреххлорнстый кремний) она равна лишь
15 3,5 г/мнн.
Пример, Получение н осажденне двуокиси кремния производят прн помощи трехканальной горелки внешнего смещения. 1 азмсры горелки: диаметр внутреннего канала
20 б мм; ширина зазоров среднего и наружного каналов 1,5 мм; длина каналов 100 м.а.
Расход реагентов следующий: трихлорсилана 40 — 50 г/мин; водорода с парогазовой смесью 0,5 — 5 нм " /час; водорода по наружно25 му каналу горелки 1,0 нм", час. Двуокись кремния осаждают на вращающуюся никелевую оправку. Скорость вращения оправки
120 об/мпн.
Изменение расхода водорода в предела.
30 0,5 5 нм,час приводит к увелнчснио температуры на поверхности осаждения с 500 до
1000 С. При этом плотность наныляемой дву411038
Составитель К. Усаторре
Корректор Л. Орлова
Редактор H. Корченко
Техред Е. Борисова
Заказ 1271i 7 Изд. № 1243 Тираж 537 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-Û5, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2
3 окиси кремния изменяется с 0,15 до 0,9 г/см .
Скорость осаждения 6,0 г/мип. Все изделия имеют ровную гладкую поверхность. Вес напыленных изделий 100 — 200 г.
Предмет изобретения
Способ получения порошков и напыленных изделий из двуокиси кремния путем сжигания паров соединений кремния в токе кислорода, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса и получения продукта с регулируемой дисперсностью и плот10 ностыо, сжиганию в кислороде подвергают смесь паров трихлорсилана с водородом при молярном отношении ЯНС1з. Ho=0 04 — 0,5 и при скорости подачи смеси 20 †1 м/сек.