Устройство для двустороннего совмещения рисунков подложки с рисунками фотошаблонов

Устройство для двустороннего совмещения рисунков подложки с рисунками фотошаблонов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О и и с А "Й"Й (1Ц 414I42

Союз Советскик

Социалистических

Республик

ИЗОЬРЕтКН

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 01.11.71 (21) )710848/28-1 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет—

Опубликовано 05.02,74. Бюллетень №

Дата опубликования описания 29.1.75. (51) М, Кл. В 41m 3/08

G 03f 9/00

Государственный конитет

Совета Миниатраа СССР оо делан изааретений и открытий (53) УДК 655.3.021;

; 655.271 (088,8) (72) Авторы изобретения Г. О. Захарян, Н. П. Замбровский, И. М. Семенов и М. М. Борецкий (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕГО СОВМЕЩЕНИЯ РИСУНКОВ

ПОДЛОЖКИ С РИСУНКАМИ ФОТОШАБЛОНОВ

Изобретение относится к изготовлению микромодулей для электронной промышленности.

Известно устройство для совмещения рису н ков подложки с рисунками фотошабло нов, содержащее механизм зажима подложки, установленный на одной,каретке вертикальных перемещений координатного столика, верхний шаблонодержатель, жестко закрепленный на станине, нижний шаблонодержатель, укрепленный на другой каретке вертикальных перемещений, рычажный механизм фиксации с пневмоприводом и оптическую систему контроля совмещения рисунков.

Недостаток известного устройства — низкая точность совмещения рисунков и возможность их относительного смещения при фиксации фотошаблонов и подложки при фотос ьемке.

Цель изобретения — повышение точности совмещения рисунков фотошаблонов и подложки — достигается тем, что механизм зажима подложечки,выполнен в виде плоских захватных пластин, консольно подвешенных на шарнирах Гука к одной каретке вертикальных перемещений координатного столика, а нижний шаблонодержатель выполнен в виде, полого сферического,вкладыша, установленного в сферическом подпятнике, консольно прикрепленном к другой каретке вертикальных перемещений координатного столика, причем обе каретки уравновешены так, что центры тяжестей кареток и установленных на них деталей находятся на оси пневмоцилиндров, и под действием сил давления воздуха находятся в состоянии безразличного равновесия в направлении своего перемещения.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, разрез; на фиг. 2 — то же, вид свер10 ху; на фиг. 3 — разрез по А — А на фиг. 1.

Устройство двустороннего совмещения рисунка подложки с рисунками фотошаблонов содержит верхний шаблонодержатель 1, координатный столик 2 с размещенными на нем

15 кареткой 1 вертикальных перемещений и пневмоцилиндром 4, нижний шайлонодержатель 5, прикрепленный к каретке 8 вертикальных перемещений, координатный столик б с кареткой 7 вертикальных перемещений, на которой

20 консольно подвешен на шарнирах Гука держатель 8 подложек, выполненный в виде плоских захватов, пневмоцилиндр 9, механизм прижима фотошаблонов и подложки, выполненный в виде пневморычажной системы, пред25 ставляющей собой пневмоцилиндр 10, и двухпольный мпхроскor 11 для контроля совмещения.

Верхний шаблонодержатель 1 представляло ет собой кронштейн, жестко закрепленный на

414142 станине 12 и имеющий вакуумные канавки 13 для удержания фотошаблона.

Нижний шаблонодержатель 5 выполнен в виде полого сферического .вкладыша 14, установленного в сферичеаком подпятнике 15, кон- и сольно закрепленном на каретке 3 вертикальных перемещений координатного столика 2.

Положение нижнего фотошаблона фиксируется вакуумом, создаваемым между сферическим,подпятником 15 и сферическим вклады- 10 шем 14.

Механизм прижима фотошаблонов и подложки выполнен .в виде пневморычажной системы, представляющей собой пневмоцилиндр

10 с демпфирующим поршнем lб и рычагом с роликами 17.

При работе устройства координатный столик б отводят в правое крайнее положение и загружают подложкой. Верхний фотошаблон устанавливают на вакуумные канавушки 13 верх- 20 него шаблонодержателя 1, а нижний — на вакуумные кана вки сферического вкладыша 14, В пнавмоцилиндры 4, 9 и 10 подают сжатый воздух для создания сил, обеспечивающих состояние безразличного равновесия 2:> кареток вертикальных перемещений и прижима фотошаблоно в. Происходит выравнивание рабочих плоскостей фотошаблонов. Положение нижнего фотошаблона фиксируют вакуумом, создаваемым между сферическим вкла- 30 дышем 14 и,подпятником 15.

В пневмоцилиндры 4, 9 и 10 подают атмосферное да вление, и нижний шаблон опускается на 10 — 15 мкм. Производят совмещение рисунков шаблона в с .помощью микроскопа 11 35 и координатного стола 2. Затем опускают нижний ша блонодержатель на 1,5 — 2 мм. Координатный столик б перемещают в левое крайнее положение и вводят подложку в зазор между фотошаблонами. В пневмоцилинд- 40 ры подают сжатый воздух, каретки вертикальных перемещений поднимаются вверх и прижимают фотошаблоны к подложке, выравнивая их плоскости. После выравнивания плоскостей фотошаблонов и подложки,в пневмоцилиндры 4, 9 и 10 подают атмосфер,ное давление, каретки 3 и 7 опускаются, обеспечивая зазоры между плоскостями шаблонов и подложки по 10 — 15 мкм. С помощью микроскопа

11 и координатного столика б произ водят совмещение рисуночков подложки и верхнего фотошаблона. После совмещения в пневмоцилиндры 4, 9 и 10 вновь подают сжатый воздух для обеспечения контакта плоскостей фотошаблонав и подложки. После экспонирования в цилиндры подают атмосферное давление, создавая зазор между подложкой и фотошаблонами, координатный столик б отводят в правое крайнее положение, вынимают подложку.

Цикл повторяют.

Предмет изобретения

Устройство для двустороннего совмещения рисунков подложечки с рисунками фотошаблонов, содержащее механизм зажима подложки, установленный на одной каретке вертикальных перемещений координатного столика, верхний шаблонодержатель, жестко закрепленный на станине, нижний ша блонодержатель, укрепленный на другой каретке ве ртикальных перемещений, рычажный механизм фиксации с пневмо приводом и оптическую систему контроля со вмещения рисунков, отличаюи1ееея тем, что, с целью повышения точности совмещения рисунков, механизм зажима падложки консольно подвешен на шарнирах

Гука к од ной каретке вертикальных перемещений, а нижний шаблонодержатель выполнен в виде полой сферической пятки и консольно прикреплен к другой каретке, при этом обе каретки вертикальных перемещений и рычаги механизма фиксации установлены на штоках пневмоцилиндров привода.

414142 ог 2

Составитель В. 1Чорозов

Текред. 3. Тараненко Корректор И. Позняковская

Редактор М. Бычкова

Полиграфическое объединение «Полиграфист» Управления издательств, полиграфии и книжной торговли Мосгорисполкома. Москва, ул. Макаренко, 5/16.

Заказ 809/5 Изд. ЛЪ 457 Тираж 456 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий. Москва, 7К-35, Раушская наб.. д. 4/5