Патент ссср 415467

Патент ссср 415467

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Оп@CAHuE

ИЗОБРЕТЕНИЯ

4t(5467

;.о!оз Саветскии

Сс)циалнсти(тескии

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 01.Х1.1971 (№ 1710253/24-6) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 15.11.1974. В!Оллетснь . (е 6

Дата опублш;Овання описания 2Л (1,! 974

М, Ь;л, Г 26b 15/04

В 44d 1/50

Государотвеиио!й комитет

Совета Мииистрав СССР по делам изабретеиий и открытий

;у ДК 66.047.783.55 (088.8) Авторы изобретения

1О. В. Большаков, В. H Гончаров, Г. А. Фомин, А. T. Буравцев и В. Ф. Лысюк

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ ТЕРМООБРАБОТКИ

IIJIEH0×ÍbIÕ ПОКРЫТИЙ

Известны установки для термообряботкн плсношых покрытий, например фоторезистивных, на изделиях, содержащие снябжснну о охлаждающей рубашкой камеру с расположенными внутри инфракрасными излучателями и горизонтальным конвейером для перемещения изделий, Для повышения качества термообряоотки в предлагаемой установке под конвейером параллельно ему установлена обращенная к изделиям отрлжя!ощс-нзлучщощей поверхностью пластина нз материала с высокой тенлопроводностшо, я под пластиной расположен ко,lлектор с отвсрсillklми для выходя глзообр !3ного теплоносителя нл нагрев пластины.

На чертеже схематично поклзянл опнс !I)3смая установка, поперечный разрез.

Уста!!Овкя содер>кит Охля>кдлсх)у 10 кях!ору

1 с o! р 3 ж 3 тел ь н ы м и cTe н 1, 3 м и и I! ф р я i : p л c l l I,! с излучател и 2, гор и зонта льный конвейер 3 дл я перемещенич издел)ш 4, пллстину 5, коллектор 6 с отверстиями для подл lli теплоносителя и окно 7 для выхода теплонос!псля.

Изделия 4 с нанесенным «а ннх пленочшгм покрытием, например фоторсзистпш!ым, перемешают вдоль камеры 1 при помощи горизонтального конвейера 3. Термообрлботку покрыпгия на изделиях производят инфракрасными излучателями 2. Из коллектора 6 через отверстия подают теплоноситель, который обтсКя(!T п. I:I cT! ll! I 3 5 0 0 è .",II зятем t ыходит Из клмсpl I 1(()(", Окно 7, унося с сОООЙ п;lрОООр !! 3 н ь! с. и р Од у Ic! ь) 1 ((1 ) х1 О О б р; б 0 1 к и .

Пл 1 cTII!13 5 О бр illtcll 1 I< 113!I ел ия 1 4 0 р 3

5 >кякпце-излучающей попер (IlocT!>IO, что устрлkI5lCT <(II0 IOC;) T0CT1».> Н;! ГР С в(! 1!3 QC l! !(i. () Л Л ГОдаря высокой тщ(лопроволностн пластины 5

Ооеспечнвлетс 1 рлв)1о»(ерное те".,1пературное поле в камере (.

П рс I»e i изобретения

Установка для тсрмообрлботкн пленочных покрытий, например фо!Орезистнвн)!.:, н;1 изДслиях, соа(Pii 101;! и сн;lожсн н 3 10 Охл:lж:1310н(сй руб;10!ко!1 к;)м(.р), с pлспозо;кo! IIII t.;III

20 I) II> Tpll 1111 )) pkl кр;!сны аlи изл уч:lтс 1 5(. (III 1! 1 Ор lтзонтлльным «опвсйсром для перемещения нз,tcëèé, отлнчл 10щляся тем, что, tI(JBbII!li .ння клчсствл терт!Ооорлоо l кн, под конвейером нлрлллсльilo ему устлновлснл об 45 рящсннля к изделиям Отрлжяюн(с-нзлу !люптсй поверхностью пластина нз млтсрнллл с высоКой ТСПЛОПРОI)ОДНОСТЫО, lПО,Д ПЛЛС tll!Iой РЛСположен коллсктоп с отверстн",ì.I! для выходя глзообрлзного т плоносн!еля нл нагрев пла30 стнны.

Редактор Л. Г1ейсоченко

Составитель В. Вакар

Текрер Т. Ускова

Корректор Н. Аук

3!!каз 14!8 8 Изд. № 1280 Тираж 678 Под(!исное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, .Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2