Патент ссср 416784

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Вс>асс -;= -.;и па>ент>.ъ кйтв ие -e; - гаЬ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

4l6784

Союз Советскин

Со1! иалистицеским

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №,Ч. Кл. Н О1) 9,, 02

II О11 1,,3Î

Заявлено 04.I.1972 (№ 1733298/2Г>-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 25.11.1974. Бюллетень ¹ 7

Дата опубликования описания 9А И.1974

Государственный комитат

Соавта 1ннннстрса СССР

i!9 данаи нзосрвтвннй н открытий

УДК 621.385.032 212 (088.8) Авторы изооретени я

И. Д. Вентова и Л. E. Валуева

Ленинградский ордена Ленина и ордена Трудового Красного

Знамени государственный университет им. А. А. Жданова

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АВТОЭЛЕКТРОННЫХ

МНОГООСТРИЙНЫХ КАТОДОВ

Изобретение относится к способу изготовления многоострийпых катодов, используемых и тех электронных приборах и устройствах, пде требуется эффективный источник электронов, например импульсные рентгеновские трубки, разрядники, лазеры и т. д.

Известен способ изготовления многоострийпых автокатодов путем элвктролитического травления острий состоит в том, что заготовку катода (в виде гребенки, или матрицы) >«>гружают в электролит и, прикладывая разность потенциалов между заготовкой и дополнительным электродом (так же погруженным в электролит), осуществляют процесс электролитического «заострения» концов заготовки катода.

Однако в известном способе из-за существования поверхностного натяжения и капиллярных сил на границе электролит — металл — вакуум при погружении заготовки,B электролит и проведении процесса травления случайный

«срыв» раствора с одного элемента ведет к опусканию уровня электролита по большей части или по всей заготовке катода, в результате чего автоматически происходит прекращение процеса травления.

Поэтому часть элементов заготовки может быть «недотравленной», другая — «перетравленной», т. е. форма получаемых острий является в значительной степени неоднородной гп> радиусам закругления и углам конуса.

Цель изобретения — повышение однородности геометрических параметров острий.

Сущность предлагаемого способа состоит в том, что создают колебание поверхности электролита, направленное перпендикулярно к поверхности раздела электролит — воздух, причем частоту колебаний выбирают такой вели10 чины, чтобы обе-печивалось движение мениска относительно заготовки, а величину амплитуды устанавливают не выше значения, при котором происходит срыв электролита с заготовки.

ls Сущность способа заключается в следующем.

В электролитическую ванну вводят заготовку многоострийного катода, погружая элементы на заданную глубину в электролит. Дер20 жателю заготовки сообщают колебания, перпендикулярные к поверхности электролита, амплитуда и частота которых выбираются в соот>ветствии с герметическими размерами катода: h — высотой и а — шириной элемента и

25 расстоянием t между элементами. Прикладывая постоянное напряжение U («+» на заготовку, « — » на дополнительный электрод), осуществляют заострение концов элементов катода. При этом происходит плавное снижение

30 уровня электролита по мере «утоньшения» за4 16784

Состаг>итегн Г. Жукова

Техрсд Г. Васильева

Корректор Т. Добровольскаи

Редактор Т, Иванова

Заказ 1552/18 Изд. М 518 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-85, Раушская наб., д. 4/5

Типографии, пр. Сапунова, 2 готовки катода до момента прекращения,1!1Оцесса травления.

Предмет изобретения

Способ изготовления автоэлектронных многоострийных катодов для электровакуумпы.;. приборов путем элеK7Iðîëèòè÷åñêîãо травлеEIIIII заготовок, отл и ч а ю щи и с я тем, что, с Ii.c. льlО полы!пени!1 Однородпост?! ГОО1!е рп Ip(liil параметров острий, создают ко IQ08HE!å 1. î верхпости электролита, направленное перпендикулярно к поверхности раздела электролит — воздух, причем частоту колебаний выбп5 рают гакой леличипы, и;обы обеспсчилалсс!

;!впадение менпска относительно заготовки, и

ЛС, IIЧИП HI!I!7.7IITX ;1Ы 3 Ста:!Е1Г, lивсt!0 IЬЕ вьlп!с

:;.I8÷åø4ÿ, прп котором проис одит срыв эл< ктролпги с заготовки.