Патент ссср 417656

Патент ссср 417656

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П

СОюз СОветсиим

Социалистическитт

Республик

ИЗОБРЕТЕН И Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

М. Кл. I 16j 3/00 ! Н 04r 7/02

l

I !

УДК 621.396.6(088.8) !

Заявлено 22.! Х.1970 (№ 1480570/18-24) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 28.1!.1974. Е|оллетень ¹ 8

Дата опубликования описания 17.VII.1974 т к@Цф Ъ

Государотаенв |й ко:.}}яст

Совета 1|евиотров СССР ео долам кзгбретовий и открытей

Авторы изобретения

Л. П. Гаврюшкин, IO. П. Дягилев и И. С. Солдатенков

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕМБРАННЪ!Х ПPИБОРОВ

С МИКРОЗАЗОРОМ

) = Р/аг, 1

2Л

Предмет изобретения

Изобретение относится к микроэлектронной технике и может быть использовано при изготовлении микрополостных электромеханических приборов (пленочных электростатических реле, мембранных модуляторов света и др.).

Известные способы изготовления мембранных приборов с микрозазором путем последовательного нанесения электродов, изоляционного и буферного слоев с последующими жидкостным вытравливанием буферного слоя для образования зазора, удалением травящей жидкости и сушкой не обеспечивают высокого качества изготовляемых приборов из-за залнпания мембраны при сушке под действием снл поверхностного натяжения в зазоре, соизмеримых по величине с электростатическими силами, действующими в готовом приборе при его работе.

Предлагаемый способ отличается тем, что мембране при сушке сообщают колебания на собственной резонансной частоте.

Это позволяет повысить качество прибора.

При реализации описываемого способа последовательно наносят (напыляют) на подложку прибора тянущие электроды, изоляционный слой, контакты, буферный слой и мембрану, после чего удаляют буферный слой посредством вытравливания и промывки с сушкой в вибрационном режиме, сообщая мембране колебания на собственной резонансной частоте. Последнее может быть выполнено с помощью электромеханического или ино5 га вибратора, в результате чего мембрана воз. буждается на собственной резонансной частоте, которая может быть определена по формуле где h — длина мембраны, см;

F — натяг мембраны, дн; и — масса мембраны на единицу длины, 15 г/см.

Способ изготовления мембранных приборов

20 с микрозазором путем последовательного нанесения электродов, изоляционного и буферного слоев с последующим жидкостным вытравливанием буферного слоя для образования зазора, удалением травящей жидкости и

25 сушкой, отличающийся тем, что, с целью повышения качества изготовляемых приборов, мембране при сушке сообщают колебания на собственной резонансной частоте.