Способ ориентации микроминиатюрных деталей

Способ ориентации микроминиатюрных деталей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

с ъ, ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свпдетельства— (22) Заявлено 05.06.72 (21) 1793122/26-25 (5l) М. Кл. Н Oll 7/64 с присоединением заявки (32) Приоритет

Опубликовано 15.ill.1974. Бюллетень ¹ 10

Дата опубликования описания 30.07.1974

Государственный комитет

Совета Министров СССР

Ао делам изобретений н открытий (53) Ъ ДК 621.328(088.8) (72) Автор ы изобретения

А. А. Иванов, В. А. Огнев и Ю. Н. Сальников (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОРИЕНТАЦИИ МИКРОМИНИАТЮРНЪ|Х ДЕТАЛЕЙ

Изобретение относится к усовершенствованию технологического оборудования для производства полупроводниковых приборов, в частности к способу ориентации микроминиатюрных деталей, например полупроводниковых кристаллов.

Известен способ ориентации микромпниапорпых деталей сжатым воздухом, образующим прослойку между поверхностя ми дсталей и опорной плоскостью из пористого материала; воздух подается под опорную плоскость с давлением, подобранным из условия взвешенного состояния деталей, обращенных к опорной плоскости большей поверхностью, при этом опорной плоскости сообщают направленные гармонические колебания. Известен также способ ориентированной раскладки кристаллов в кассеты, который предусматривает вакуумное крепление кристаллов прн вибрационной ориентации их в трафарете.

Общим недостатком известных способов является возможность повреждени". опорных поверхностей деталей при вибрационном перемещении, а также невозможность групповой ориентации деталей со слаоо выраженной асимметрией формы.

С целью исключения перемещения деталей в процессе групповой ориентации и избежания при этом их повреждения, ориентируемые детали помещают между двумя вакуумными присосами с опорными плоскостями, выполпенными из пористого материала, затем создают вакуум, достаточный для удержания ориентируемых деталей, обращенных к опорным плоскостям большей поверхностью, и разводят вакуумные присосы с однозначно ориентированными деталями на некоторое расстояние.

Чертеж иллюстрирует предлагаемый способ ориентации микроминиатюрных деталей.

10 Герметичная камера 1 вакуумного присоса имеет опорную плоскость 2, выполненную в виде крышки из микропористого материала.

Камера снабжена штуцером 3, через который она сообщается с вакуумной системой. Opu1s ентируемые детали 4 помещают на опорную плоскость 2, поры которой создают систему микросопел, через которые отсасывается газ из окружающей среды, образуя равномерное пневматическое палс на опорной плоскости.

20 При этом вели шна вакуума выбирается достаточной для удержания деталей на опорной поверхности вакуумного присоса в один слой.

Затем лишние детали сбрасываются, и вакуумный присос совмещают с аналогичным

25 присосом, под опорной плоскостью 2 которого создан вакуум, достаточный для удержания деталей, обращенных к ней большей опорной поверхностью. Затем разводят вакуумные присосы, на которых остаются однозначно ориен30 тированные детали, обращенные большей поверхностью к присосам.

420016

Составитель Ю. Цветков

Редактор К. Шанаурова Техред Т. Миронова Корректор M. Лейзерман

Заказ 1853/10 Изд. № 1373 Тираж 760 Подписно

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр, Сапунова, 2

Разделение деталей происходит за счет разности в усилиях присасывания, возникающей на опорных поверхностях деталей, которая пропорциональна разности площадей этих поверхностей.

Питание обоих присосов осуществляется от общей вакуумной системы, при этом давление может синхронно измеи1пься в обоих присосах при неизменной разности перепадов давлений.

Предмет изобретения

Способ ориентации микроминиатюрных деталей со слабо выраженной асимметрией формы, например полупроводниковых кристаллов, заключающийся в использовании действия вакуума, отличающийся тем, что, с целью исключения перемещения деталей в процессе

5 групповой ориентации и избежания при этом их повреждения, ориеитируемые детали помещают между двум;; вакуумными присосами с опорными плоскостями, выполненными из п011истого vl атер пала, затем созда loT Ва1(1 ум, 10 достаточный для удержания деталей, обращенных к опорным плоскостям ббльшей поверхностью, и разводят вакуумные присосы с однозначно ориентированными деталями на требуемое расстояние.