Устройство для защиты смотровых окон вакуумных ка.мер от запыления

Устройство для защиты смотровых окон вакуумных ка.мер от запыления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ (и)420707

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советским

Социалистически11

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 22.06.72 (21) 1799690/22-1 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25.03.74. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания 27.08.74 (51) М. Кл. С 23с 13 08

Гооударстввииый комитет

Совета Мииивтрав СССР во делам изобрвтвиий и открытий (53) УДК 621.793.14.002. .52 (088.8) ЕСЕ СО ЭЗЦ Я (72) Автор изобретения

А. И. Тютюнников (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЩИТЫ СМОТРОВЫХ ОКОН

ВАКУУМНа1Х КАМЕР ОТ ЗАПЫЛЕНИЯ

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано для наблюдения за процессами при нанесении покрытий из парогазовых сред.

Известно устройство для защиты смотровых окон вакуумных камер от запыления, содержащее встроенный в стенку камеры тубус со смотровым стеклом и штуцером для подачи газа.

При насыщении покрытий,из парогазовых сред применение обдува смотрового стекла несколько уменьшает, но не устраняет конденсацию на стекле и стенках корпуса. В результате этого измерение температуры подложки через смотровое окно оптическими методами, например, с помощью пирометра, невозможно при пуске в установку паров хлоридов и других агрессивных легколетучих соединений.

Цель изобретения — исключить конденсацию продуктов испарения на смотровом стекле в процессе получения покрытий из парогазовой фазы.

Это достигается тем, что устройство снабжено прозрачным диском, установленным в тубусе с помощью пористых прокладок.

На чертеже представлена конструкция предлагаемого устройства.

Устройство состоит из встроенного в стенку камеры 1 тубуса 2 со смотровым стеклом 3 и штуцером 4 для подачи газа, прозрачного диска 5, установле|шого в тубусе 2 с помощью пористых прокладок 6. Стекло 3 укреплено в тубусе с помощью прокладок 7 и фланца 8.

Торец тубуса 2 со стороны реакционной камеры 1 выполнен так, что образует посадочное место для тугоплавкого,прозрачного диска 5. Диск 5 расположен между пористыми прокладками 6 и закреплен с помощью прижимной втулки 9 и гайки 10.

10 Прокладки 7 выполнены из вакуумной резины, фторопласта, прокладки б — из графита, например, марки ГЭ с пористостью до 30%, пористых керамики и металла.

Устройство работает следующим образом.

15 Перед началом процесса в зазор между стеклом 3 и диском 5 вводят газ, например, аргон, при давлении, избыточном по отношению к давлению газов в реакционной камере.

Газ через отверстие в прижимной втулке 9 по20 ступает к пористым прокладкам 6 и, далее, через поры в прокладках б и между поверхностями диска 5 и прокладок 6 в камеру 1, омывая диск 5 и оттесняя от него парогазовую смесь.

Предмет изобретения

Устройство для защиты смотровых окон вакуумных камер от запыления, содержащее встроенный в стенку камеры тубус со смотро30 вым стеклом и штуцером для подачи газа, от420707

Составитель Л. Анисимова

Техред Е. Борисова

Корректор Л. Чуркина

Редактор О, Степина

Заказ 2475,,6 Изд. № 633 Тираж 944 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, >К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью исключения конденсации продуктов испарения на смотровом стекле в процессе получения покрытий из парогазовой фазы, оно снабжено прозрачным диском, установленным в тубусе с помощью пористых прокладок.