Манометрический преобразователь для измерения вакуума

Манометрический преобразователь для измерения вакуума

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

щ 420899 о п и е- ю- н-й-

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВКДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 03.05.72 (21) 1779913/18-10 (51) М. Кл. 6 Oil 21, 12 с присоединением заявки (32) Приоритет

Опубликовано 25.111.1974. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания 30.07.1974

Государственный иеиитет

Совета Министраа СССР ае делам изабретений и етнрытий (53) УДК 531.788.6 (088.8) (72) Авторы изобретения

Л. H. Розанов и В. М. Лебедев (71) Заявитель

Ленинградский ордена Ленина политехнический институт им. М. И. Калинина (54) МАНОМЕТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДЛЯ

ИЗМЕРЕНИЯ ВАКУУМА

Изобретение относится к,приборам,ва куумной техники.

В различных областях вакуумной техники и других отраслях науки необходимо измерять давление в диапазоне от атмосферного до давления P(10 —" тор.

В настоящее время каждая вакуумная установка для измерения .давления в указанном диапазоне содержит манометрические преобразователи 2 — 3 типов, каждый из которых снабжается измерительной установкой.

Поэтоиу целесообразно иметь единый п рибор, с помощью которого можно было бы прсводить измерения во всем рабочем диапазоне.

Известен теплоэлектрический манометр для измерения вакуума, в кото ром корпус разделен мембраной на две полости — рабочую и ком пенсационную. В рабочей,полости закреплена полупроводниковая нить, один конец IKQторой закреплен на мембране. При давлениях

760 †" тор для измерения используется тензорезистивный эффект полупроводниковой нити, а при давлениях 10е †10 †тор — зависимость теплопроводности газа от давления.

Одна ко в таком устройстве диапазон измеряемых давлений ограничен в сторону высокого и сверхвысокого вакуума.

Целью изобретения является расширение нижнего и редела измерений.

Это достигается тем, что преобразователь снабжен магнитной системой, создающей магнитное поле в рабочей .камере, дополнительным токоподводом для подачи на корпус высокого постоянного напряжения относительно

5 тензочувствительного элемента и охранными дисковыми электродами-катодами, размещенными в рабочеи камере.

На фиг. 1 и 2 изображены два варианта конструктивной схемы манометрического пре1р образователя для измерения вакуума; (на фиг. 1 — ва риант конструкции с тензочувствительным элементом, являющимся анодом, а на фиг. 2 — катодо»); на фиг. 3 — электрическая схема измерения.

Преобразователь состоит из корпуса 1,,который разделен мембраной 2 на две полости— рабочую 3 и компенсационную 4, откачанную до сравнительного давления, тензочувствительного элемента 5, аксиальной магнитной системы 6 (Н=1000 — 1600 э), трех электроконтактов 7 — 9, двух цилиндрических изоляторов 10 и 11, двух катодных диско в 12 и 13, приемного кольца 14 и патрубка 15, .присоединяющегося к вакуумной системе, где происходит измерение давления.

Принцип работы манометрического преобразователя состоит в следующем.

При измерении давлений в области 10 —

760 тор на тензочувствительный элемент 5 действует растягпвающее усилие, передающее420899

14 1Р

f0

11 ся or мембраны 2, которая находится под действием разности давлений — постоянного сравнительного в полости 4 (Р (10 — тор) и переменного, измеряемого в полости 3.

Изменение растягивающих напряжений в тензочувствительном элементе 5, выполненном например, из платиновой про волоки, сопровождается изменением его сопротивления и может быть, зафиксировано мостовой измерительной схемой (см. фиг. 3), когда,переключатели Вкь Вк2, В кз находятся во включенном (замкнутом) положении, а Вк4 — в выключенном (разомкнутом). При более низких давлениях (10 — 10 — тор) .наблюдается зависимость теплопроводно сти газа от давления и постоянной мощности электрического тока, выделяемого тензочувствительным элементом 5, его температура, а следовательно, и сопротивление будут изменяться, что фиксируется той же мостовой измерительной схемой.

Начиная с давления 1 10 — з тор и ниже производится переключение Вкь Вк2, Вкз (см. фиг. 3) в положение «выключено» (разомкнуты), а Вк4 — в положение «включено» (замкнут).

На тепзочувствительный элемент 5 и корпус (поз. 7, 8) подается при этом постоянное высокое напряжение (3000 — 6000 в) и ма нометрический преобразователь начинает работать в области давлений 10 — — 10 —" тор в режиме инверсно-магнетронного (см. фиг. 1) мано5 метра.

Для уменьшения габаритов и веса преоб разователя средняя часть корпуса 1 может быть выполнена из магнитотвердого материала, например сплав ЮНДК35Т5. ю

Предмет изобретения

Манометрический преобразователь для измерения вакуума, содержащий корпус, разделен ный мембраной на две,камеры — рабочую

15 и компенсационную, .в первой из которых размещен тензочувст вительный элемент, выполненный в виде нити, прикрепленной одним концом к.мембране, и токоподводы, отлич аю шийся тем, что, с целью расширения диа20 пазона измерения la сторону низких давлений, о н снабжен магнигной системой, создающей магнитное поле в рабочей, камере, дополнительным токоподводом для подачи на корпус высокого постоян ного напряжения относи2з тельно тензочувствителыного элемента и охранными дисковыми элвктродами — катодами, размещенными в рабочей камере.

420899 ис..З

Составитель О. Полев

Корректор Л. Царькова

Техред Т. Курилко

Редактор А. Бер

Заказ 1818/2 Изд. № 670 Тираж 760 Подписное

ЫНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр, Сапунова, 2

И клемме (Стиг.

Д л лвмГМУ (4Ъ|. я) гячлоЮ аа 1)