Способ маркировки элементов интегральных схем

Способ маркировки элементов интегральных схем

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ!! 1!423206

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 07 12.71 (21) 1721709126-25 (51) М. Кл. Н 01l 7/64 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05,04.74. Бтоллетснь ¹ 13

Дата опубликования описания 16.09.74

Государственный комитет

Совета Министров СССР ое делам изобретений и открытий (53) УДК 621.328(088.8) (72) Авторы изобретения

В. А. Лепилин, В С. Черняк, В. Г. Захаров, Н. Д. Матвеев и Г. К. Самыгина (71) Заявитель (54) СПОСОБ МАРКИРОВКИ ЗЛЕМЕНТОВ

ИНТЕГРАЛЪНЫХ СХЕМ

Изобретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов и может быть применено при маркировке негодных кристаллов и некоторых приборов на полупроводниковых пластинах при производстве интегральных микросхем.

Известен способ маркировки негодных элементов после замера зондами их электрических параметров, при котором алмазным наконечником ставят метку в виде царапины или точки на поверхности полупроводникового кристалла между контактными площадками.

Недостатками известного способа являются сложность механических устройств для его реализации, а также нанесение метки на полупроводниковом кристалле, из-за чего он целиком бракуется. Однако при изготовлении ряда приборов, например многоканальных коммутаторов на МОП-транзисторах, выход из строя одного канала не влияет на работоспособность остальных каналов, поэтому практически можно использовать все кристаллы, имеющие хотя бы один годный капал.

Предложенный способ маркировки элементов интегральных схем отличается тем, что после измерения их электрических параметров риску наносят острием электроизмерительного зонда на,о гтактпой площадке, соответствующей негодному элементу.

Способ реализуется cëc7ó.oùllì образом.

Hp1I об1!В17у linc:Ill, :ilcao;jiiol o элемента Во Вре5 мя изме!зеппя элок. pllческих параметроВ на измерительный зонд. упирающийся в контактIIyIo плоlцадкт, подаlот мехапичес! Ие колеба нпя, вызываю!цпе перемещение острия зонда по контактной плон!адке. В результате на кон10 тактной площадке ocTacтся риска, легко различимая под микроскопом при разбраковке кристаллов с приборами.

После пазбракoBIIII i;plicl.a 7 ibi посту17а1от на сборку, причем с выводамп корпуса сое15 диня!от -!олько кон!актные площадки, не имеющие метки, т. е. соответствующие годным элементам.

Предмет изобретепп я

Способ маркировки элементов нптегра7bHblx схем после измерения пх электрических пара IcTpoB пу тем !!Внесения зlеткп В Виде риски, о тл и ч а ю1цп; C B тем, что, с целью уllpolllc25 пия п!зопесса и обеспечения Вь!дслспп!! годных элемс1! Пoпз длч пес,7едующсго пх использования, 1! Иск1 и !! носят ост17пем элект13оизмер и

1ельного зонда па контактной площадке, соответствуюпсей негодному элементу.