Патент ссср 424254

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

Социалистических

Республик пт424254

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6I) Зависимое or авт. свидетельства— (22) Заявлено 06.09.72 (21) 1826223/26-25 с присоединением заявки №вЂ” (32),Присрнтет—

Опубликовано 15.04.74. Бюллетень № 14 (51) М.Кл. Н Olj 9/02

Н oij i!30

Государственный комитет

Совета Министров СССР до делам изобретений и открытий (53) УДК 621.385.032.212 (088.8) Дата опубликования описания 07.01.75 (72) Авторы изобретения

Г. А. Кудинцева и В. П, Савченко (71) Заявитель

Ордена Ленина физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе

АН СССР (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИГОЛЬЧАТЫХ ЭМИТТЕРОВ

Изобретение относится к технике изготовления ост рцйных автокатодов электролитцческим полированием. Эта техника является о новной при изготовлен и одноострийных и мнсгоострийцых автокатодов из металлов и металлоцодобцых соединений. Такие катоды применяются в вакуумных электронных приборах, диодах, триодах, рентгеновских трубках и электронных микроскопа .

Известен способ изготовления острийного автокатода цз металлаподобного соединения путем электролитического травления образцов из 1, В6 в ностояц,но обновляющейся (в потоке) 100% - ной серной кислоте. Образец представляет собой шта бик квадратного сечения, сторона квадрата равна 0,2 лл, Положительный, потенциал в

60 В подается ца образец импульсами частотой в 1 — 10 ГЧ, длительность импульса варьируется от 0,1 до 1 сек. Катодом служит пла- ро типовая шайба с внутренним отверстием дц Iметром 0,5 мл, сквозь которое образец погружают в серную кислоту.

Несмотря ца сложность установки ц жесткий режим травления этот способ дал воз- 25

iIoa«IocTI получить острия с регулярной ловеpxHocTblo ц радиусом закругления вершины в 1000 — 6000 А только из переплавленных электрической дугой образцов. Размеры отдельных монокрцстальцых зерен в таких пере- 30 плавленных ооразцах всегда в 2 — 4 раза цревыша. Iè размеры кончика îcrðlléíого автокатода.

Для использования заготовок цз порошков оорцдов ц упрощения технологии предлагается способ, по которому образец, например

LaBq,,пспеременцо травят в растворах .серной ц сртофосф рной I Ilc,IOT. Может быть использован 80 — 96% -ный раствор серной кислоты ц 50 — 70% -ный раствор ортсфосфорцой кислоты.

Поскольку поверхность образца, приготовленного спеканцем, неоднородна, скорость травlpIIIIH различных ее участков неодинакова B одном электролите Illpll люоом режиме травления. Поэтому предлагается вести тразлецце попеременно в нескольких электролитах. Свойства электролитов и режимы травления подобраны так, что они активно растворяют разные участки поверхности. Выступы на поверхности, образующиеся в одном эле Tролцте, легко удаляются в другом и т. д. Это позволяет получать игольчатые автскатоды

«регулярной» боковой поверхностью, т. с. такой поверхностью, выступы ца которой н:1столько малы, что прц электрических полях достаTочHых для автоэм:Icollll с острия, автоэмпссця с выступов ничтожна, Предлагаемый способ получения острцйцых

424254

Составитель Г. )Кукова

Техред Е. Борисова

Корректор А. Дзесова

Редактор И. Шубина

Изд. № 1518 Тираж 760

ЦНИИЛИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, К-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 3668

Подписное

06;I. тип. Костромского управления издательств, полиграфии и книжной торговли

3 явтокатодов из спеченны; штаоиков 1 оВ(-, опробован в лабораторнык условияк.

Образец ЬВс гпредставляет собой стерженек длиной 10 .нл квадратного сечения: сторона квадрата равна 1 льн. Размер зе рна,в образце 5 — 10 ик,н.

Травление ведется в 96%-ной H2SQ4 пр1 комнатной температуре. На дне ванны расположен катод площадью в 5 см . При этом на анод о бразца подают напряжение постоянного тока 5 — 6 В. Электрическая цепь потенциометрическая. Время травления меняется от образцов к образцу, но редко превышает

10 .нин. Затем образец промывают в дистиллированной воде и переносят в ванну с

55%-ным,раствором НзР04. Размеры ванны н электрическая цепь те «e. На пряжение на аноде постоянное и равно 2," В. Время травления 4 — 5 .иин до полного сглаживания. Чис;Io ц:1клов травления выбирают и зависимости от качества поверкности образца:I в некоторык сayчaяк оно достигает десяти, Предлагаемый способ прост в осушествле5 нии и не требует специального оборудования, Предмет изобретения

1. Сяособ:1зготовления пгольчатык эмитт ров из боридов лантаноидоз путем электролиlO тического травления за-отовки в растворе серной кислоты, отличаю ци ся тем, что, с целью

;1спользова ния заготовок из порошков боридов и упрощения тек1:ологии, заготовку травят поочередно в растворак серной;. орто15 фо "ôîðíîé кислот.

2. Способ по п. 1, отличшоцийся тем, что используют 80 — 96%-ный раствор серной кислоты и 50 — 70оо-ный раствор ортофосфорной кислоты.