Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистичесних

Республик

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт, свидетельства— (») Заявлено 15.10.71 (21) 1706192/22-1 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет —

Опубликовано 30.04,74. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 19.02.75 (51) М. Кл. С 23с 13/08

Гасударственный камитет

Саеета Министров СССР па делам кзабретеннй и аткрытий (53) УДК 621.793.14. .002.51 (088.8) (72) Автор изобретения 1О. А. Екимов (71) Заявитель Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к области нанесе.ния покрытий в вакууме и может быть исетсльзовано для двусторонней металлизации изделий.

MI3IBBcTHo устройство для нанесения покрытий в,вакууме, содержащее камеру, внутри которой укреплены испарители и вращающийся барабан, на котором неподвижно смонтирова ны ка ссеты для обрабатызаемых .изделий, образующие многогранник.

Однако коэффициент использования ооъема вакуумной камеры при этоiI недостаточно в васо к. .Цель изобретения — повышение произ водительности устройства и получение двустороннего покрытия.

Для этого предлагаемое устройство снабжено дополнительными кассетами, смонти;рованными на осях в вершинах многогранника с возможностью раз ворота относительно осей.

Предлагаемое устройство для нанесения покрытий,в вакууме показано на чертеже.

Устройство состоит из камеры 1, .внутри которой укреплены испарители 2, 8 и вращающийся оарабан 4, на котором неподвижно смонтированы ка ссеты 5,для обрабатываемых изделий, образующие многогранник, и дополнительные кассеты 6, смонтированные на осях 7 в вершинах многограннн1 à с вэз- - " блио о т п-„, „

425986.можностью раз|ворота QTHocèòåëüíî этих осей.

Работает устройство следующим образом.

По достижении рабочего вакуума в камере

1 включаются при вод барабана 4 с кассетами б и 5 и ис парители 2 и 8. При этом происходнт,нанесение, покрытия на поверхности изделий, обращенвые к испарителям. После окончания напыления на одну сторону изделий, закрепленных в неподвижных кассетах

5, иопаритель 8 выключается. Одновременно .включается, привод кассет б,,выполненный, например, в вниде мальтийского механизма.

Такое вьаполнение привода обеспечивает поочередное разворачивание кассет 6 относительно осей 7 за один оборот барабана 4 и поджатие последних к смежным граням барабана 4 с помощью, HBIIIpHtMep, автоматических фиксаторов. При этом перекрываются стороны кассет б, обращенные к испарителю 2, с уже нанесенным покрытием и вместе с тем откры ваюгся необработанные стороны изде IIIÉ.

Разворот подвижных кассет б осуществляется вне зоны испарения,во время работы ,c;Iарителя 2.

По достижении необходимой толщины покрытия на подложках вращение барабана 4 прекращается и камера 1 разгерметизируется.

Готовые изделия вынимаются из кассет.

425986

Предмет изобретения

Составитель Л. Анисимова

Редактор Е. Шепелева

Текред Л. Акимова

Корректор И. Симкина

Заказ 763/30 Изд. № Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. сПатеит>

Устройство для,нанесения покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой укреплены испарители и барабан, на котором неподвижно смонтированы кассеты для обрабатываемых изделий, образующие многогранни к, отлича ощееся тем, что, с целью получе,ния д в устороннего покрытия и повышения

lIl p0Hl3B0äèòåëüH0ñòè, оно сн а о жено до пол н ительными кассетами, смонтированными на осях в вершинах, многогранника с возможностью разворота относительно этих осей.