Способ изготовления керамических оснований корпусов интегральных схем

Способ изготовления керамических оснований корпусов интегральных схем

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

427425

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 08.08.72 (21) 1818544/26-9 с присоединением заявки Ие— (32) Приоритет—

Опубликовано 05.05.74. Бюллетень Ке 17

Дата опубликования описания 10.12.74 (51) М. Кл. H 0111 00

Н 051< 1/02

Гасударственный намитет

Совета Министров СССР по делам изобретений н птнрытий (53) УДК 621.396. .6-181.48 (088.8) (72) Автор изобретения

P. Я. Климеиский и Е. В. Ромашов (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КЕРАМИЧЕСКИХ

ОСНОВАНИЙ КОРПУСОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Изобретение относится к радиоэлектронной технике.

Известен способ изготовления керамических оснований корпусов интегральных схем с вакуумплотными проходными выводами с использованием металлизации отверстий и последующей их пайки. ,Предлагаемый способ отличается тем, что заготовки керамических корпусов дисковой формы подвергают обжигу, наносят по торцу металлизированные выводы, собирают с необожженными керамическими кольцами и подвергают совместному обжигу в режиме необожженной керамики. Это позволяет создать вакуумплотные выводы в основании.

На фиг. 1 изображены обожженный диск с металлизацией и необожженное кольцо; на фиг. 2 представлена последовательность технологического процесса сборки, обжига и нанесения металлизации на торцовую поверхность.

Данный способ предусматривает как применение керамики одного состава, так и сочетание различных керамических материалов для получения монолитной структуры с анизотропными свойствами.

В технологический процесс изготовления основания корпуса входят:

1) Обжиг диска.

2) Сборка (необожженное кольцо собирают с обожженным диском, на боковую поверхность которого заранее наносят металлизированные выводы).

3) Совместный обжиг в режиме необожженного кольца. Температура обжига кольца должна быть меньше температуры обжига диска или соответствовать ей. Внутренний диаметр кольца выбирают так, чтобы получить необходимый натяг (0,1 — 0,3 лл) после обжига.

4) Металлизация по поверхности и вжигание металлизированных слоев наружных частей основания корпуса в предусмотренных участках по известной толстопленочной или тонкопленочной технологии.

Предмет изобретения

Способ изготовления керамических оснований корпусов интегральных схем, основанный на обжиге и металлизации керамических заготовок, отличающийся тем, что, с целью создания вакуумплотных выводов в основании, предварительно обожженную и металлизированную по торцу керамическую заготовку дисковой формы собирают с необожженным керамическим кольцом и собранную заготовку повторно обжигают в режиме неЗO обожженной керамики.

427425

ЯЬг У

Юг. Р

Составитель P. Клименский

Техред Л. Богданова

Корректор И. Симкина

Редактор Б. Федотов

Заказ 1668/524 Изд. № 814 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред, «Патент».