Устройство для нанесения покрытий в выкууме

Устройство для нанесения покрытий в выкууме

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (i» 4276I2

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 03.11.70 (22) 1485361/22-1 с присоединением заявки— (23) Приоритет—

Опубликовано 05.07.75. Бюллетень № 25

Дата опубликования описания 08.01.76 (51) М. Кл. С 23с 13/08

Государственный комитет

Совета Министров СССР

А0 делам изобретений. и открытий; (53) УДК 621.793.14. .002.51 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. Г. Жиглинский и Э. С. Путилин (71) Заявитель Ленинградский ордена Ленина и ордена Трудового Красного

Знамени государственный университет им. А. А. Жданова (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

В ВАКУУМЕ

Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой расположены плоский испаритель и подложкодержатели. Однако в таком устройстве невозможно получать идентичные слои на всех напыляемых одновременно подложках.

Цель изобретения — получение идентичных слоев на всех напыляемых одновременно подложках. Это достигается тем, что подложкодержатели выполнены в виде расположенных друг под другом колец, параллельных испарителю и имеющих с ним общую ось вращения, а положение центров подложек задано формулой: (h — 1,056) + v = 1,056 где h — расстояние от испарителя до подложкодержателя;

v — расстояние от оси вращения подложкодержателей до оси вращения подложек.

На фиг. 1 показано предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 — сплошная кривая — геометрическое место точек, в которых должны быть расположены центры подложек.

Устройство включает камеру 1, внутри которой находятся плоский испаритель 2 и подложкодержатели 8, выполненные в виде расположенных друг под другом колец, параллельных испарителю и имеющих с ним общую ось вращения. Положение центров подложек 4 задано формулой: (h — 1,056) + v = 1,056-, где h — расстояние от испарителя до подложкодержателя;

v — расстояние от оси вращения под10 ложкодержателей до оси вращения подложек.

При таком расположении испарителя н подложкодержателей толщина слоя в центре подложек не зависит от ее местоположения в момент начала и конца испарения. При обычной геометрии толщина слоя в центре разных подложек может отличаться на величину до

1 — где и — число оборотов подложкодеряо Зи жателя за время напыления слоя. Обычно ве личина и равняется 300 — 500 оборотам. Поэтому полосы пропускания интерференционных фильтров, полученных на существующих установках, могут отличаться на величину о

4 — 6 А для ооласти спектра 600 нм.

На ЭВМ был выполнен расчет толщины слоев, полученных при новой геометрии испарительной установки. Результаты расчета приведены на фиг. 2. Из рассмотрения этого

427612

Фиг.1 чертежа видно, что равнотолщинное покрытие (у которого различие толщины слоя на краю подложки от толщины слоя в центре

< 0,1%) может быть получено на подложках, расположенных в два и более ярусов (в зависимости от диаметра колпака испарительной установки и необходимого диаметра подложки). На фиг. 2 видно, что при диамет ре колпака 600 мм и диаметре подложки

60 мл оказывается возможным расположить подложки в два яруса и получить равнотолщинное (с точностью до 0,1О О) покрытие на

45 подложках.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее камеру, внутри которой расположены плоский испаритель и подложкодержатели, отличающееся тем, что, с целью получения идентичных слоев на всех напыляемых одновременно подложках, подложкодержатели выполнены в виде расположенных друг под другом колец, параллельных испарителю и имеющих с ним общую ось вращения, а положение центров подложек задано формулой: (h — 1,056) + v = 1,056 где h — расстояние от испарителя до подложкодержателя;

v — расстояние от оси вращения подложкодержателей до оси вращения подложек.

427612

06

U,Z

Редактро О. Филиппова

Корректор И. Симкина

Заказ 1283/1847 Изд. № 14 Тираж 966 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент»

2,Z

Составитель А. Смирнова

Техред Л. Казачкова