Источник ионовв п т ь«jtfsfjnotsiidiluilriys
Иллюстрации
Реферат
G 5 Н C А. Н И Е 1 !4 Я@77
Союз Советских
Социалистических
Республик
%(g g(QP+4(Q+g 1 Я >,@f? С Щ (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 13.11.72 (21) 1846013/26-25 (5!) М.Кл. Н ОЦ 3/04 с пр>!соединением заявки №вЂ”
1кударстве!!Яь!и ком!пвт
Go0BTR М>!кхртраа СССР !!о делам иэс5рета!!ий и открытин (32) Приорите!—
Опубликовано 15.05.74. Бюллетень № 18
Дата опубликования описангия 02.01.75 (53) УДК 621.387.424 (088.8) (72) Лвторы изобретения
В. A. Никитинский и Л. C. Захаров (71) Заявитель
Рубе>канский филиал Харьковского ордена Ленина поли ехнического институга им. В. И. Ленина (54) ИСТОЧНИК ViO
Изоб!>стсние относится к устройствам для
ПОЛУ !ЕП ЬЯ ИНТЕНСИВНЫХ .ИОННЫХ ПУЧКОВ В ВЯ КУуме, ко .Орь:е могут быть использованы для напыления пленок, 13 ускорительной технике и для спарк:!. Известны;!сточники па основе сжатого (.Оонтрагированного) разряда с позышспной концсптрацией !1лазмы в области сужения. В этих источ!!Иках извлечение ионов про:!зводится с янодной стороны ко!!трягиру!ощего отпер тпя с помощью извлекающего электрода, расположенного за анодом соосно с проз!е>куточпым электродом. При этом требуется o;ciiü точное совмещение отверстий анода и проме>куточного электрода, что является одним пз недостатков источников такого типа.
С целью повышения эффективности и упрощения технологии сборки .источника термокатод расположен в пространстве между. полюсамн магнитной системы, а анод и !!звлека!Ощий электрод расположены вне указанного пространства с,разных сторон, причем канал в промежуточном электроде выполнен в форме горонкп, обращенной к аноду.
Иа чертеже приведена схема ионного источ1.! И K!I.
Ои содержит вольфрамовьш термокатод 1 в виде кольца, ферромагнитный промежуточньш электрод 2 в форме полого конуса, обращенного к катоду, копусный анод 8 с отверстием для напуска газа, ферромагнитный полюспый накопечшьк 4, служащий одновреме1ию од!и!а! из выводов катода, вывод катода 5 из пеъ!яГИИТИОГО материала, катушечки 6 и мяГнитопровод 7, ускоряющий электрод 8, изоляторы 9 и кожух 10. Электроды снабжены полостяаш для охлаждения 11.
Гер>!етпзяця!! между электродами источника и изоляторами 9 1; виде керамических колец
10 осуществляется одновременным сжатием всех уплотпптельных колец ко>кукол! 10. Уплотнительные кольца между электродами 2 и 5, 5 и 4 являются одновременно и изоляторами,в виду низкого напряжения между эти>!и электрода15 мп. Ко!! трукция и сточнпка предусматривает защиту изоляторов от напыления с катода.
Расположение катода между полюсами электромагнита позволяет осуществить вытягивание ионов с катодной стороны сужения раз20 ряда, ПредлаГаемый источник работает следу!0 щим образом.
Прп подаче напряжения накала катода на электроды 4, 5 и положительного потенциала
«>5 относительно катода на электроды 2, > зажигается вспомогательный разряд между термокатодом 1 и промежуточным электродом 2, который, в=ледствис ограничения тока в цепи электрода 2, перебрасывается через канал в
30 этом эле4троз!е на анод,>. В области канала
428477
Составитель В, Ким
Техред Т. Курилко
Редактор Л. Цветкова
Корректор Т. Хворова
Заказ 5020 Изд. K. 1597 Тираж 760 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений п открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Обл, тип. 1. остромского управления издательств, полиграфии и книжной торговли образуется сгусток плазмы, отделенный двойньтм электростатическим слоем от остальной плазмы с катодной стороны канала. Форма канала в ви де воронки, обращенной к аноду, способствует уменьшению радиуса .кривизны 5 двойного электростатического слоя, а слабое магнитное поле с минимумом напряженности на оси разряда при водит к тому, что д войной электростатический слой в приосевой области приобретает вогнутую форму и фокусирует 10 ионы, ускоренные в двойном электростатическом слое в направлеяии выходного отверстия в электроде 4. Кроме того, магнитное поле, имеющее поперечную составляющую с электрическим полем анода, приводит к увеличе- 15 нию дл ины пробега электронов в области сужения за счет их циклоидального движения, Отбор ионов производится с,развитой границей плазмы, проникающей из разряда через отверстие в электроде 4 в специальное расширение с помощью ускоряющего электрода 8.
Предмет изобретения
Источник .ионов, со держащий термокатод, промежуточный электрод с каналом, анод, извлекающий электрод и магнитную систему, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности и упрощения сборки источника, упомянутый термокатод расположен в пространстве между полюсами магнитной системы, а анод и извлекающий электрод расположены вне указанного пространства с разных сторон, причем канал в промежуточном электроде выполнен в форме воронки, обращенной к аноду.