Способ регулирования мощности бестигельнойзонной плавки

Способ регулирования мощности бестигельнойзонной плавки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(ii) 430878

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистически1с

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 14.07.69 (21) 1344402/23-26 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05.06.74. Бюллетень № 21

Дата опубликования описания 30.12.74 (51) M. Кл. В Olj 17/08

G 05d 27/02

Государствеиный иамитет

Оеаета Мииистрсв СССР па делам извбретеиив

II OTKPblTHll (53) УДК 669.621.785.545. .4 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. М. Бындин, Г, С. Новиков и Д. Г. Ратников (71) Заявитель (54) СПОСОБ РЕГУЛИРОВАНИЯ МОЩНОСТИ БЕСТИГЕЛЬНОЙ

ЗОННОЙ ПЛАВКИ

Изобретение относится к металлургии кремния и других материалов, подвергающихся бестигельной зонной плавке.

Известны способы регулирования мощности бестигельной зонной плавки путем регулирования диаметра слитка.

Для получения монокристаллов с заданными структурными и электрофизическими свойствами необходимо в процессе бестигельной зонной плавки поддерживать не только задан- 1о ное поперечное сечение зоны, но и ее определенную высоту, а также положение фронта кристаллизации.

Цель изобретения — получение монокристаллов с улучшенными физическими свойст- 15 вами — достигается тем, что по предлагаемому способу стабилизируют положение фронта кристаллизации изменением мощности нагрева.

При использовании функциональной зависи- 20 мости между диаметром выращиваемого монокристалла и оптимальной высотой зоны можно автоматически изменять мощность нагревателя. оптимальную для выращиваемого в данный момент диаметра слитка. При этом 25 все другие параметры плавки (изменившееся напряжение сети, скорость прохода, расстояние от конца слитка и т. п.) на высоту зоны влиять не будут, зона будет оставаться оптимальной.

На чертеже представлена схема регулирования, с помощью которой реализуется предлагаемьш способ.

Схема состоит из датчика 1, например фотоэлектрического или телевизионного, блока

2 задатчика, блока 3 сравнения, исполнительного устройства 4 и генератора 5.

Граница между зоной 6, созданной при помощи нагревателя (индуктора) 7, и твердой частью 8 (выход фронта кристаллизации на поверхность) наблюдается при помощи датчика. В блоке сравнения сигнал с датчика сравнивается с эталонным сигналом и подается на исполнительное устройство 4, которое обеспечивает соотвегствующую регулировку генератора 5, изменяющую мощность нагревателя.

Предмет изобретения

Способ регулирования мощности бестигельной зонной плавки путем регулирования диаметра слитка, отличающийся тем, что, с целью получения монокристаллов с улучшенными физическими свойствами, стабилизируют положение фронта кристаллизации изменением мощности нагрева.

430878

Составитель В. Лейбович

Техред Г. Васильева

Корректоры: Н. Лебедева и Т. Гревцова

Редактор Г. Ивченкова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3469/1 Изд. Ко 99 Тираж 651 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5