Конденсатор нерел1енной емкости
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ОГ1ИСАНИЕ
ЙЗОБРЕТЕНИЯ
1п! 434494
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 15.08.72 (21) 1818799/26-9 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опу.бликовано 30.06.74. Бюллетень ¹ 24
Дата опубликования описания 12.11.74 (51) М. Кл. Н Olg 7/00
Гасударственный комитет
Совета Министров СССР па делам изобретений и открытий (53) УДК 621.319,4 (088.8) (72) Авторы изобретения A. Н. Камышны", И. Н. Ларионов, В. H. Гусев и M. Ю. Воловик (7!) Заяиггель (54) КОНДЕНСАТОР ПЕРЕМЕН НОЙ ЕМКОСТИ
Изобретение относится к радиотехнике.
Известны конденсаторы переменной емкости, состоящие из диэлектрической подложки, на которую нанесены слои термостойкой диэлектрической пленки и термохимически активных металла и диэлектрика.
Цель изобретения — обеспечение возможности управления величиной емкости с помощью электрического сигнала.
Эта цель достигается тем, что в слое термостойкой диэлектрической пленки под слоями термохимически активных металла и диэлектрика расположен металлический подогреватель, выполненный с переменным сечением, плавно изменяющимся вдоль его оси.
На фиг. 1 схематически изображен предлагаемый конденсатор; на фиг. 2 — сечение по А — А на фиг. 1.
Конденсатор переменной емкости содержит диэлектрическую подложку 1, выполненную, например, из кварца, сапфира, керамики, тугоплавкого стекла, подогреватель 2, выполненный из тонкой металлической пленки, например молибденовой, с переменным сечением, плавно изменяющимся вдоль оси подогревателя 2, металлические пластины 3, образующие верхние обкладки дискретных емкостей конденсатора, термостойкую диэлектрическую пленку 4, например, из окиси алюминия, разделяющую рабочую и управляющую части конденсатора, слой 5 термохимически активного металла, например алюминия, слой 6 термохимически активного диэлектрика, например двуокиси кремния, металли5 ческую пленку 7, образующую нижнюю обкладку конденсатора, слой 8 термостойкого диэлектрика, электроды 9 и 10 управляющей цепи, подсоединенные к подогревателю 2, выводы 11 и 12 обкладок конденсатора.
Все эти пленочные элементы нанесены последовательно один за другим из паровой фазы методом вакуумного испарения.
Изменение емкости между выводами 11 и
15 12 осуществляется пропусканием электрического тока через электроды 9 и 10 управляющей цепи и подогреватель 2. При этом в зависимости от величины управляющего тока меняется температура нагрева как самого
20 подогревателя 2, так и находящихся с ним в тепловом контакте термохимически активных металла и диэлектрика. Эта температура распределяется неравномерно вдоль оси подогревателя.
25 Когда в какой-то точке температура термохимически активных слоев 5 и 6 достигает критического значения (300 — 350 для алюминия), они вступают в химическую реакцию, результатом которой является преобразование
30 слоя 6 диэлектрика в металл, сплавляющий
434494
4иг, /
А- А
Составитель H. Блинкова
Техред Н. Куклина
Изд. № 1795
Редактор М. Бычкова
Заказ 2975/12
Корректор О Тюрина
Тн р а >к 760
Подписное
Тппогрпфпн, пр. Сапунова, 2 расположенные над ним пластины 3 конденсатора.
Так как слои 5 и 6 представляют собой тонкие пленки, химическая реакция, начавшаяся в результате внешнего подогрева за счет подогревателя 2, даже если она носит экзотермический характер, не может распространяться за пределы зоны критической температуры.
Подогреватель 2 имеет неравномерное сечение, благодаря чему по мере увеличения управляющего тока зона критической температуры передвигается между электродами 9 и 10 управляющей цепи. Соответственно смещается зона протекания химической реакции и образования взамен диэлектрика металлической пленки, замыкающей соответствующие пластины 3 конденсатора переменной емкости.
Размеры и число пластин 3 выбраны такими, чтобы при включении каждой очередной пластины к общему выводу 11 скачкообразное изменение емкости было незначительным, сравнимым с обычным нарушением плавности регулировки, наблюдаемым при вращении оси известных типов подстроечных
5 конденсаторов.
Предмет изобретения
Конденсатор переменной емкости, состоящий из диэлектрической подложки, на кото10 рую нанесены слои термостойкой диэлектрической пленки и термохимически активных металла и диэлектрика, отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности управления величиной емкости с помощью
15 электрического сигнала, в слое термостойкой диэлектрической пленки под слоями термохимически активных металла и диэлектрика расположен металлический подогреватель, выполненный с переменным сечением, плавно
20 изменяющимся вдоль его оси.