Способ изготовления микрозеркал

Способ изготовления микрозеркал

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (11) 435200

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от а вт. свидетельства (22) Заявлено 22.06.72 (21) 1799624/29-"3 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05.07.74. Бюллетень ¹ 25

Дата опубликования описания 25.11.74 (51) М. Кл. С 03с 17/08

Государственный камнтет

Сонета Мнннстрав СССР ао делам изобретений н аткрытнй (53) УДК 666.1.056 (088.8) (72) Авторы изобретения

Г. Л. Рошкован, П. А. Самосудов и Д. Э. Сахновский

Кишиневский завод «Виброприбор» и Кишиневский научно-исследовательский институт электроприборостроения (71) Заявители

1 ! (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОЗЕРКАЛ

Изобретение относится к области изготовления микрозеркал, которые могут быть использованы, на пример, в осциллографических гальванометрах.

Известен способ изготовления микрозеркал, заключающийся в том, что стеклянная отластина после полировки соединяется путем оптического контакта с контакпной пластиной, после чего производится шлифовка в размер по толщине до 0,5 — 0,1 мм, полировка и вакуумное алюминирование второй стороны. Затем на делительной машине на стеклянную пластину наносят риски, снимаются с контакта и раскатываются на отдельные элементы — микрозеркала. Здесь и далее полировка ведется на смоляном полировальнике до N=O 5.

С од|ной пластины получается около 1000 микрозеркал размером, например, 0,5Х0,8Х

+0,08 мм, которые имеют отражающий слой алюминия с одной стороны. При металлизации второй стороны микрозеркал необходимо отроизвести подготовку этой поверхности под напыление, что затруднено в условиях крупносерийного производства из-за трудоемкости подготовки под металлизацию поверхности каждого микрозеркала.

Кроме того, в процессе подготовки поверхности каждого микрозеркала под металлизацию второй стороны и во время вакуумного напыления нарушается чистота первой 1поверхности, так как они укладываются этой поверхностью на приспособление.

В предлагаемом способе эти недостатки устранены за счет того, что нижняя сторона стеклянной пластичны после шлифовки, полировки, металлизации соединяется путем оптического контакта с,контактной пластичной большого размера. Для металлизации выбран сплав, 10 например инвар, обеспечивающий надежное соединение с ним деталей путем пайки.

Поверхность микрозеркал, покрытая слоем инвара, отличается по свету от алюминированной, а коэффициент линейного расширения

15 инвара близок по величине коэффициенту линейного расширения стекла.

Затем производится шлифовка верх ней стороны стекляннои пластины (отражающей поверхности) до необходимой толщины, полиров20 ка, подготовка поверх ности под алюминирование, вакуумное алюминирование и резка на отдельные микрозеркала зада нных размеров.

Микрозеркала, изготовленные tlo предлагаемому способу, применительно к гальваномет25 рам обладают рядом положительных качеств; а) благодаря подготовке поверхностей нижней стороны стеклянной заготовки под металлизацию и ее металлизации до посадки на оптический ко нтакт резко выросла производи30 тель ность труда;

435200

Составитель И. Бриль

Техред Л. Богданова

Корректор T. Хворова

Редактор Г. Кузьмина

Подписное

Заказ 3l03/3 Изд. № 54 Тираж 506

ЦГ!ИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Типогра()>ия, пр. Сапунова, д. 2 б) алюминированная поверхность микрозеркала легко отличается от неотражающей поверхности, что исключает ошибки при креплении микрозеркал гальванометров; в) возможность крепления микрозеркал íà S подвижные части гальванометра, с помощью пайки, в то время как обычно микрозеркала осциллографических гальванометров клеятся на подвижные части, что часто приводило к смещению или отклонению:микрозеркал, 10 вследствие разных коэффициентов линейного расширения материалов растяжек гальванометров, клея и стекла.

Способ крепле|ния микрозеркал,пайкой позволяет улучшить качество записи исследуемых 15 процессов осциллографическими гальванометрами.

Предмет изобретения

Способ изготовления микрозеркал, включаю щий шлифование, полирование и металлизацию обеих поверхностей стеклянной подложки с защитой первой из них, до обработки второй .поверхности,,контактной пластиной, прикрепляемой о птическим ко нтактом, î Të ич а ю шийся тем, что, с целью повышения производительности труда и улучшения качества микрозеркал, металлизацию первой полированной поверхности производят перед прикреплением к ней,контактной пластины.