Устройство для получения кольцевого магнитопровода

Устройство для получения кольцевого магнитопровода

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(ц 436895

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 02,10.72 (21) 1833297/26-9 с присоединением заявки Ке (32) Приоритет

Опубликовано 25.07.74. Бюллетень Ме 27

Дата опубликования описания 23.01.75 (51) М. Кл. С 23с 13. 02

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР ао делам изобретений н открытий (53) УДК 537.312.62 (088.8) (72) Авторы изобретения

И. Х. Тартаковская, А. В. Сумароков и В. Ф. Пусан

Харьковский ордена Ленина политехнический институт им. В. И. Ленина (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ

КОЛЬЦЕВОГО МАГН ИТО ПРОВОДА

Изобретение относится к микрорадиоэлектронике и может найти применение при изготовлении методами вакуумной конденсации тороидальных пленочных катушек индуктивности, пленочных высокочастотных трансфсрматоров и в других случаях.

Известны устройства для получения кольцевого магнитопровода, содержащие токопровод, сменные тигли, заслонку и приводной механизм.

Однако известные устройства характеризуются недостаточной равномерностью пленок с круговой анизотропией.

Целью изобретения является повышение равномерности пленок с круговой анизотропией.

Для этого токопровод выполнен в виде стержня с возможностью его вращения, причем на одном конце стержня закреплены пластины в диаметрально противоположных направлениях и токосъемные щетки, а другой конец кинематически связан с приводным механизмом.

На чертеже приведена схема конструкции устройства.

Устройство для .получения кольцевого магнитопровода содержит токопровод 1, введенный в отверстие в подложке 2 перпендикулярно к ее плоскости. К концу токопровода 1 соосно прикреплено кольцо 3 с диаметральными пластинами 4 (разрез А — А). Посредством приводного механизма 5 токопровод приводится во вращение, а при помощи токосъемных щеток 6 к вращающемуся токопроводу

5 подводится ток.

Крепежные пластины 7, крепежные стойки

8 и фторопластовые втулки 9 обеспечивают системе вращения необходимую жесткость и соосность. Вал 10 через вакуумное уплотне10 ние выведен за пределы вакуумной камеры к двигателю. Токосъемные щетки 6 закреплены на крепежных пластинах 7, съемные медные втулки 11 и 12 являются составной частью токопровода, Для смены подложек и

15 масок вывинчивают винт 13 и съемные втулки

11, 12 удаляют.

В процессе конденсации обычные цилиндрические тигли 14 с ферромагнитным и диэлектрическим материалом попеременно подводят

20 под отверстие в заслонке !5, коаксиальное с кольцевым маги итопр оводом, а токопро вод приводится во вращение. При этом экранирующие диаметральные пластины 4 равномерно перемещаются по кругу, вследствие чего кон25 денсируемая кольцевая пленка имеет равномерную толщину. Предусмотрена также возможность регулирования тока и скорости вращения токопровода.

Таким образом, описанное устройство поз30 воляет получать методом вакуумной конден436895

Предмет изобретения

Составитель И. Тартаковская

Редактор A. Зииьковский

Техрсд В. Рыбакова

Корректоры: Л. Котова и 3. Тарасова

Заказ 3707/3 Изд. № 128 Тираж 875

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 7К-35, Раушская иаб., д. 4/5

Подписное

Типография, пр. Сапунова, 2 сации пленочные многослойные кольцевые магнитопроводы, равномерные по толщине и обладающие круговой магнитной анизотропией.

Устройство для получения кольцевого магнитопровода, содержащее токопровод, сменные тигли, заслонку и приводной механизм, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности пленок с круговой анизотропией, токопровод выполнен в виде стерж5 ня с возможностью его вращения, причем на одном конце стержня закреплены пластины в диаметрально противоположных направлениях и токосъемные щетки, а другой конец кинематически связан с приводным механизмом.