Устройство для вытягивания из расплава монокристаллов

Устройство для вытягивания из расплава монокристаллов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

»437529

Оп ИСАНИНА

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетел тва— (22) Заявлено 03.01.72 (21) 173",568!23-26 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет—

Опубликовано 30.07.74. Бюллетейь № 28

Дата опубликования описания 05.06.75 (51) М.Кл. В Olj 17/18

Гасударственный комнтет

Совета Мнннстров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 669.046-172 (088.8) (72) Авторы

МОНОКРИСТЛЛЛОВ

1

Изобретение относится к устройствам для вытягивания из расплава монокристаллов, например, полупроводниковых материалов.

В известном устройстве для вытягивания из расплава монокристаллов по способу Чохральского с тиглем, поддерживаемым подвижным по вертикали штоком, нельзя осуществить слив расплава из тигля и провести процесс дополнительной очистки материала г тигле направленной кристаллизацией.

Цель изобретения — обеспечение возмо>кности слива расплава из тигля.

Для этого в предлагаемом устройстве шток гыполнен с укрепленпой коаксиально слив1 ой емкостью и конической верхней частью, входящей в отверстие в дне тигля, ниже которого установлена кольцевая подставка, диаметр которой меньше диаметра тигля и больше диаметра сливной емкости.

Кроме того, устройство может быть выполнено таким образом, чтобы высота части штока находящейся в полости емкости превышала высоту ее стенок на величину, меньшую толщины дна тигля, а наружная поверхность дна тигля имела кольцевой паз с размерами, соответствующими диаметру и толщине стенок сливной емкости.

На чертеже изображена схема предлагаемого устройства.

Тигель 1 укреплен на подвижном по вертикали штоке 2, верхняя часть 3 которого, вы-полненная конической, входит в отверстие в дне тигля. Ниже тигля установлена кольцевая и одста в к а 4.

При движении штока вниз расплав из тигля выливается в сливную емкость 5, а тигель садится на подставку 4.

В связи с возможностью осуществить слив части расплава из тигля процесс вытягивания может быть проведен повторно с целью повышения чистоты получаемого монокристалла.

Предмет изобретения

1. Устройство для вытягивания из расплава монокристаллов по способу Чохральского с тиглем, поддерживаемым подвижным по вертикали штоком, отличающееся тем, что, с

2о целью обеспечения возможности слива расплава из тигля, шток выполнен с укрепленнои коаксиально сливной емкостью и конической верхней частью, входящей в отверстие в дне тигля, ниже которого установлена кольцевая

25 подставка с диаметром, меньшим диаметра тигля и большим диаметра сливной емкости.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что высота части штока, находящейся в полости сливной емкости, превышает высоту ее

ЗО стенок на величину, меньшую толщины дна

437529

Составитель Т. Фирсова

Техред Т. Курилко

Корректор Н. Учакина

Редактор Ю. Агапова

Заказ 2187 Изд. № 1852 Тираж 651 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

МОТ, Загорский филиал тигля, причем наружная поверхность дна тигля выполнена с кольцевым пазом, размеры которого соответствуют диаметру и толщине стенок сливной емкости.