Способ изготовления германиевых термосопротивлений для сверхвысоких температур

Способ изготовления германиевых термосопротивлений для сверхвысоких температур

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

МЖ: ее

М Р лй

A 7f

О Il И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Саветскин

Социалистиыескин

Республик (11) 437933. (61) Дополнительное к an. свид-ву (51) М. Кл.

2 (22) Заявлеио 24.03.72 (21) 1763167/18-10 с прнсоединениеи заявки №вЂ”

G 01 К 7/22 (23) Приоритет (43) Опубликовано05.09.78.Бюллетень № ЗЗ йвудвротеенний квинтет

Совете Мнннотров СССР по делвм нэаоретеннй

H отнритнй (53} УД3(536.531 (088.8) (45) Дата опубликовании описания 18.07.78 (72} Автор. изобретения

И. С. Шлимак (7l) Заявитель

Ордена Ленина физико-технический институт им. А. Ф, Иоффе (54 ) СПОСОБ ИЗГОТОВЛ ЕН ИЯ ГЕРМА НИЕВ ЫХ

ТЕРМОСОПРОТИВЛЕНИЙ ДЛЯ

СВЕРХНИЗКИХ ТЕМПЕРАТУР

Изобретение относится к области теплофизических измерений и может быть использовано, например, для измерения сверх низких температур (ниже 1 К). о

Известный способ изготовления термосопротивлений из германия для сверхнизких температур основан на широко распространенном методе легирования германия — введении в расплав определенного количества легирующей примеси с последую- тв щим. выращиванием монокристалла по меI тоду Чохральского или методом зонной плавки.

Однако из-за чисто технологических причин легирование методом введения при- тз месей в расплав не может. обеспечить высокой точности получения нужной концентрации примесей, необходимой вследствие сильной зависимости сопротивления германия при температуре ниже 1 К от концен- 26 трации примесей (например. при уменьщении концентрации примерно в два раза сопротивление германия при Т=О,З К увеличивается более, чем в 10 раз). Кроме того, введение примесей в расплав не поэво- И ляех получить высокую степеяь однородности распределения примесей.

Цель изобретения — повышение точности введения примесей при изготовлении германиевых термосопротивлений для температур менее 1 К.

Это достигается тем, что монокристалл германия облучают медленными нейтрона" азад 2

1в -г ми дозой от 2,6... 10 см до 4... 10 см .

Естественный германий представляет собой смесь пяти изотопов. Захватывая медленный нейтрон, эти изотопы переходят в другие изотопы, иэ которых два стабильны, а три радиоактивны. Распадаясь с различными периодами полураспада, оии образуют ядра других впементов - галлия, мьпиьяка и селена, первый иэ которых является акцептором, а два других - донорами. В результате, в зависимости.от доэн облучения, получают герМаний р-типа с различной концентрацией основной примеси - галлия и постоянной компенсацией, равной 40%. Концентрация -галлия и определяется из соотношения и „.о Э М, фо рмула изобретения

Составитель Б. Голубь

Техред А, Богдан Корректор Н. Тупица

"Редактор П. Горькова

Заказ 4947/51 Тираж 831 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений к открытий

113035, Мос еа, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент ", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 где 6 - сечение образования галлия (б = е0,71 10 см )>

1)- количество ато5мов германия в 1 сьР (<- 4,45 10 см );

2 - доза тепловых нейтронов, прошед ших через 1 см поверхности.

Ввиду того, что коэффициент поглощения медленного нейтрона в слитке герма -1 ния весьма мал (меньше 0,1 см ), в слит ке с линейными размерами порядка не- о скольких сантиметров поглощение медлен ных нейтронов происходит совершенно ран номерно и практически неоднородность рас пределения примесей определяется лишь градиентом мошности нейтронного потока на длине слитка и может быть весьма малой. Кроме того, при таком методе легирования концентрация введенных примесей при постоянной мошности потока нейтронов зависит лишь от времени обл„чения образца, которое может быть проконтролировано и воспроизведено многократно с боль шой точностью.

Способ изготовления германиевых тер мосопротивлений для сверхнизких температур, заключаюшийся в введении в монокри сталлы определенного количества примесей, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью повышения точности введения при месей при изготовлении германиевых термосопротивлений для температур менее

1 К, монокристалл германия облучают медленными нейтронами дозой от 2,6... 10

М и -2 до 4... 10 см