Репродукционный объектив

Репродукционный объектив

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(и) 437997

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскин

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 15.04,72 (21) 1774431/18-10 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 30.07.74. Бюллетень № 28

Дата опубликования описания 08.01.75 (51) М. Кл. G 02b 11/34

Государственный комитет

Совета Министров СССР ао делам изооретеннй н открытий (53) УДК 771.351(088.8) (72) Автор изобретения

А. П. Грамматин (71) Заявитель (54) РЕПРОДУКЦИОННЫЙ О ЬЕКТИР

Изобретение относится к линзовым репродукционным объективам и может быть использовано, например, в установках проекционной фотолитографии при производстве микроэлектронных приборов. 5

Известны репродукционные объективы, содержащие двухсклеенный компонент, положительную одиночную линзу и установленную между ними апертурную диафрагму.

Предложенный объектив отличается от из- 10 вестного тем, что он снабжен двумя отрицательными апланатическими менисками, обращенными выпуклостями к диафрагме, один из которых установлен перед двухсклеенным компонентом, а второй за положительной лин- 15 зой.

Это позволяет увеличить поле безаберрационного изображения.

На чертеже показана схема репродукционного объектива. 20

Объектив состоит из апланатической линзы 1, двухсклеенного компонента 2, одиночной положительной линзы 3, второй апланатической линзы 4 и апертурной диафрагмы 5.

Наличие апланатических линз 1 и 4 позволя- 25 ет полностью исправить или в случае необходимости даже переисправить кривизну изображения и астигматизма свойственные объективу, состоящему из двухсклеенного компонента 2 и одиночной положительной линзы 3.

Такие особенности конструкции позволяют получить объектив упрощенной конструкции с улучшенной коррекцией аберраций, в то время как известные репродукционные объективы имеют либо простую конструкцию и малое поле безаберрационного изображения, либо сложную конструкцию, содержащую большое число линз.

Предлагаемый объектив может быть использован для проекционной фотолитографии при производстве микроэлектронных приборов с минимальными элементами порядка 3—

4 мкм.

Предмет изобретения

Репродукционный объектив, содержащий двухсклеенный компонент, положительную одиночную линзу и установленную между ними апертурную диафрагму, отличающийсяя тем, что, с целью увеличения поля безаберрационного изображения, он снабжен двумя отрицательнымтт апланатическими менисками, обращенными выпуклостями к диафрагме, один из которых установлен перед двухсклеенным компонентом, а второй за положительной линзой.

437997 г з-, :Составитель М. Лебедев

Техред 3. Гараиеимо

Редактор Т, - Рыбал гва

Корректор Н. Аук

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3515/6 Изд. № 1926 Тираж 537 .Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР

:по дезтим -изобретений и открвггнй

Москва, Ж.35, Раушскай:наб., д. 4/5