Нелинейный планарный конденсатор

Нелинейный планарный конденсатор

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(i t) 438Î55

О ll и с,А, н и е изО Р;в, те"н,,и

Союз Советских

Ющналнстнчесннх

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 13,02.73 (21) 1882589/26-9 с присоединением заявки № (32) Пр и ар итет

Опубликовано 30.07.74. Бюллетень № 28

Дата опубликования описания 14.01.75 (51) М. Кл. Н Olg 7/62

Государственный комитет

Совета Министров СССР не данам изоеретений и отнрытий (53) УДК 621.319.42 (088.8) (72) Авторы изобретения

О. Г. Вендик, Г, Д. Лоос, Л. Т, Тер-Мартиросян и Ю, Ф. Янченко (71) Заявитель

Ленинградский ордена Ленина электротехнический институт им, В. И. Ульянова (Ленина) (54) НЕЛИНЕЙНЫЙ ЙЛАНАРНЫЙ КОНДЕНСАТОР

Предмет изобретения

Изобретение относится к радиотехнике, Известны нелинейные планарные конденсаторы, выполненные в виде расположенных на подложке, например, из сапфира сегнстоэлектрической пленки и электродов.

Цель изобретения — расширение частотного диапазона работы конденсатора.

Это достигается тем, что в предлагаемом конденсаторе подложка выполнепа из окиси бериллия; поверхность подложки спечена с упомянутой сегнетоэлектрической пленкой (например, титаната стронция) твердых растворов на основе титаната, цирконата бария или титанатов бария и стронция. На пленку нанесены электроды, например, методом термовакуумного испарения.

Экспериментально обнаружено, что окись бериллия химически не взаимодействует с вышеупомянутыми сегнетоэлектрическими пленками при температурах спекания последних. Кроме того, вследствие большой разницы температур размягчения окиси бериллия и спекания пленок диффузия со стороны подложки в пленку практически отсутс гвует.

Поэтому появляется вазможность испальзования вссьма тонких пленок и, следовательно, получения конденсаторов с малым тепловым сопротивлением.

Таким образом, предлагаемый конденсатор атл гчается материалом подложки и новым типом контакта подложки с сегнетоэлектрической пленкой. Это позволяет расширить час;,îòHüø диапазон работы конденсатора более чем на порядок, сделать более простой

10 техпалогию и применять его в активных интегральных СВЧ-схемах, в том числе и в активных интегральных СВЧ-устройствах бегущей волны.

Нелинейный план арный конденсатор, выполненный в виде расположенных на подлож20 кс сегнетоэлектрической пленки и электродов, отличающийся тем, что, с целью расширения частотного диапазона работы конденсатора, подложка выполнена из окиси бериллия, поверхность которой спечена с упомяну25 тай сегнетоэлектрической пленкой,