Способ изготовления эмиттеров горячих электронов

Способ изготовления эмиттеров горячих электронов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П "- A Н- -:И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (ii) 438O6I

Союз Соввтскищ

Социалистических

Реснублик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 27.07.72 (21) 1814104/26-25 с присоединением заявки ¹ (32) Приоритет

Опубликовано 30.07.74. Бюллетень № 28

Дата опубликования описания 14.01.75 (51) М. Кл, Н Oij 9/О 2

Н 01 1/30

Государственный комитет

Совета Министров СССР

ll0 делам изобретений и открытий (53) УДК 621.385.032..212 (088.8) (72) Авторы изобретения

Т. Л. Шарапова, Н. А. Иофис и Н. В. Пароль (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЗМИТТЕРОВ ГОРЯЧИХ

ЭЛ Е КТ РОНО В

Предмет изобретения

Известен способ изготовления эмиттеров горячих электронов на основе диспергированной пленки двуокиси олова, полученной путем локального нагрева пленки, содержащей олово при пропускании электрического тока на воздухе.

Известный способ состоит из следующих этапов: напыление пленок металлического олова заданной конфигурации на кварцевую подложку; формовка пленок металлического олова пропусканием электрического тока на воздухе. При этом в месте повышенного сопротивления происходит разогрев пленки олова, ее пережог с одновременным окислением. В месте пережога образуется формовочная пленка, способная эмиттировать электроны.

Цель изобретения — упрощение технологии изготовления, Для этого по предлагаемому способу нагреву подвергают пленку металлического олова.

Получение пленок металлического олова значительно проще, чем получение пленок

$пОз. При получении пленок $пО.- методом гидролиза (именно этот метод применяется для получения ненакаливаемых эмиттеров) процесс ведется в реактивной среде паров

НС1, что вредно для обслуживающего персонала и требует использования специального оборудования.

В качестве эмиттера работает узкая отфор5 мованная область пленки $п02 (-2 мкм), остальная часть пленки используется как контактная площадка для подачи напряжения.

Из-за высокого омического сопротивления

10 этой части пленки в ней бесполезно рассеивается значительная мощность. В эмиттере, изготовленном по предлагаемому способу, подача напряжения происходит по пленке металлического олова, которая окислена только

15 в области рабочего промежутка, поэтому паразитные потери мощности отсутствуют.

Способ изготовления эмнттеров горячих электронов на основе диспергированной пленки двуокиси олова, полученной путем локального нагрева пленки, содержащен олово, при пропускании электрического тока на воздухе, отличающийся тем, по, с целью упрощения технологии изготовления, нагреву подвергают пленку мсталлн.еского олова.