Устройство для подачи порошкообразных материалов в испаритель

Устройство для подачи порошкообразных материалов в испаритель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских п 438727

Социалистических

Реслублик

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 24.07.72 (21) 1814447/22-1 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05.08.74. Бюллетень № 29

Дата опубликования описания 23.01.75 (51) M. Кл. С 23с 13 О8

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР па делам изобретений и открытий (53) УДК 621.793.14.002. .52 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. И. Нашиванко, В. Е. Родионов и 3. Ю. Готра (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДАЧИ ПОРОШКООБРАЗНЫХ

МАТЕРИАЛОВ В ИСПАРИТЕЛЬ

Изобретение относится к области вакуумного напыления материалов и предназначено для подачи порошкообразных материалов в испаритель при нанесении пленочных,покрытий и получении пленочных структур интегральных микросхем.

Известно устройство для подачи порошкообразных материалов в испаритель, содержащее бункер, трубопровод, соединенный с бункером, поршень, расположенный в трубопроводе, и лоток. Однако оно не осуществляет напыление нескольких материалов в едином технологическом цикле.

Изменение марки исходного материала вызывает необходимость во вскрытии вакуумной рабочей камеры, смене типа испарителя и размеров горловины бункера.

Цель изобретения — осуществление напыления различных материалов в одном технологическом процессе.

Это достигается тем, что трубопровод снабжен цилиндром с отверстиями различного диаметра по образующей, причем цилиндр расположен коаксиально трубопроводу и кинематически связан с бункером.

На чертеже представлено устройство.

Устройство состоит из бункера 1, трубопровода 2, поршня 3, лотков 4, цилиндра 5 с отверстиями 6 различного диаметра по образующей. Цилиндр 5 расположен коаксиально трубопроводу 2 и механической передачей 7 связан с бункером 1. Испарители 8 укрепляются на турели 9, кинематически связанной с бункером.

Устройство работает следующим образом.

При подводе на рабочую позицию испарителя 8 цилиндр 5 одновременно с бункером

1 поворачивается. При этом отверстие 6, со10 ответствующее напыляемому материалу на поверхности цилиндра 5, совпадает с отверстием бункера 1. Определенная часть материала, находящегося в одной из секций бункера, высыпается в трубопровод 2 и поршнем 3

15 выталкивается в один из лотков 4, подающих материал к испарителю 8.

Предмет изобретения

Устройство для подачи порошкообразных

20 материалов в испаритель, содержащее бункер, трубопровод, соединенный с бункером, поршень, расположенный в трубопроводе, и лоток, отличающееся тем, что, с целью осуществления напыления различных материалов

25 в одном технологическом процессе, трубопровод снабжен цилиндром с отверстиями различного диаметра по образующей, причем цилиндр расположен коаксиально трубопроводу и кинематически связан с бункером.

438727

Редактор О. Филиппова

Заказ 3707/ll Изд. М 128 Тираж 875 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Я-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель Л. Анисимова

Техред 3. Тараненко

Корректоры: Д. Котова и 3. Тарасова