Состав для удаления фоторезистов

Состав для удаления фоторезистов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(и) 4390 35

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советск

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 14.11.72 (21) 1845701/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05,08.74. Бюллетень № 29

Дата опубликования описания 29.01.75 (51) М. Кл. Н 011 7/00

В 41f 19/08

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК 621.383(088.8) (72) Автор изобретения

М. С. Лурье (71) Заявитель (54) СОСТАВ ДЛЯ УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТОВ (30 — 35%-ная) — 1 мл

0,5 — 7 мл

Изобретение относится .к технике фотолитографии и может быть использовано при производстве полупроводниковых приборов.

Известно использование растворов на основе органических соединении для удаления фоторезистов.

11редложенный состав обеспечивает качественное удаление фоторезиста, задубленного при высоких температурах, без дополнительного нагревания на всех операциях фотолитографии, исключает механическую об работку подложек, устраняет корродирующее действие раствора на материал подложки.

Состав для удаления фогорезиста состоит из перекиси водорода и моноэтаноламина, взятых в следующем соотношении:

Перекись водорода (30 — 35% -ная) — 1 мл

Моноэтаноламин 0,5 — 7 мл

Состав готовят непосредственно перед удалением фоторезиста с подложек путем добавления перекиси водорода в моноэтаноламин и помещают в него подложки с фоторезистом.

Фоторезист удаляется с подложки в ходе экзотермичеокой реакции между компонентами состава.

Пример. При изготовлении иремниевых р — n — р-транзисторов типа КТ326 для удаления фоторезистов использовался состав, где компоненты были взяты в следующих объемных соотношениях;

10 Перекись водорода ос. ч. 1 ч.

Моноэтаноламин 3 ч.

ПредмеT изобретения

Состав для удаления фоторезистов на ос15 нове органических растворителей, отличаю шийся тем, что, с целью упрощения технологии и повышения качества ловерхяости, он состоит из перекиси водо рода и моноэтаяоламина, взятых в следующих соотношениях:

20 Перекись водорода

Моноэтаноламин