Измеритель потока разреженного газа

Измеритель потока разреженного газа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ пц 439701

Союз Советских

Социалистических

Реслублик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 20.10,72 (21) 1840399/18-10 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15.08.74. Бюллетень ¹ 30

Дата опубликования описания 22.01.75 (51) М. Кл. G 011 1/00

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий (53) УДК 681.121.8 (088,8) (72) Авторы изобретения А. М. Григорьев, Е. А. Пенчко, Г. М. Смирнов и А. И, Фурсов (71) Заявитель

ВПТ (54) ИЗМЕРИ 1 ЕЛЬ ПОТОКА РАЗРЕЖЕННОГО ГАЗА

Я=аЬР V f, 25

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности, к измерителям потока разреженного газа, Измерение потока разреженного газа обычно производится методом калиброванной диафрагмы. Сущность этого метода заключается в следующем. В цепь измеряемого потока вставляется трубопровод с диафрагмой или капилляром известной проводимости и двумя манометрами по его сторонам. Величина потока пропорциональна перепаду давлений на диафрагме и ее проводимости. Недостатком известных измерителей потока разреженного газа, основанных на этом способе, является существенное снижение эффективной быстроты откачки и малая чувствительность, обусловленная необходимостью измерять малый разностный сигнал на уровне флуктуаций отсчетов в каждом из манометров.

Кроме того, на отсчет значения измеряемого газового потока влияет газовыделение манометров.

Для повышения чувствительности, сохранения эффективной скорости откачки и исключения влияния газоотделения манометрического преобразователя на отсчет значения измеряемого потока в предлагаемом измерителе потока дросселирующее устройство выполнено в виде модулятора потока, содержащего подвижную заслонку, с приводом, установленную в трубопроводе последовательно с манометрическим преобразователем.

На чертеже показан описываемый измеритель, состоящий из корпуса в виде трубы 1 с фланцами для стыковки с линией, в которой необходимо измерить газовый поток. В трубе

1 последовательно установлены манометрический преобразователь 2 и модулятор потока, состоящий из вращающейся заслонки 3 в ви10 де диска, вала 4 на подшипниках 5, магнитного привода, содержащего два магнита 6 и

7 (или один магнит, а другой — ферромагнетик), и двигателя 8.

При работе двигатель 8 с помощью магнитной передачи (6 — 7) заставляет вращаться заслонку 3. Вращаясь, заслонка 3 изменяет поперечное сечение канала трубы 1, по которой проходит газ. Модуляция проводимости трубы 1 приводит к модуляции потока газа, движущегося по ней. По переменной составляющей давления, измеренной манометрическим преобразователем 2, можно судить о потоке газа. Поток газа Q равен где ЬР— разность между максимальным и минимальным отсчетами давления манометрическим преобразователем 2 (переменная составляющая давления);

439701 а — коэффициент, зависящий от режима работы измерителя потока;

f — частота вращения заслонки 3;

V — объем измерительной камеры.

При установке измерителя потока заслонкой 3 к насосу (модуляция эффективной быстроты откачки газа) V — это объем между заслонкой 3 и трубопроводом малой проводимости (штенгелем), через который производят откачку ЭВП. При установке измерителя потока заслонкой 3 к источнику потока, а манометрическим преобразователем 2 к линии откачки V — это объем между заслонкой 3 и трубопроводом, через который производят откачку газа.

Каждый из вариантов пристыковки измерителя потока имеет свои достоинства. Подсоединение измерителя потока заслонкой 3 к линии откачки позволяет измерять поток с высокой чувствительностью полезного сигнала.

Частичное перекрытие канала заслонкой 3 (диаметр заслонки 3 меньше диаметра трубы 1) позволяет-почти полностью сохранить эффективную быстроту откачки в сечении измерителя потока. Подсоединение измерителя потока заслонкой 3 к линии источника потока позволяет исключить влияние газоотделения измерительной камеры, в частности манометрического преобразователя 2, и даже течей на отсчет измеряемого потока разреженного

5 газа, но чувствительность в этом случае ниже, чем в первом. Однако, это может быть скомпенсировано применением более чувствительного селективного усилителя.

Измеритель потока разреженного газа ра10 ботает в диапазоне 10- — 10 — 4 л. мм рт. ст./сек.

Предмет изобретения

Измеритель потока разреженного газа, содержащий встраиваемый в линию измеряемо15 го потока трубопровод с дросселирующим устройством и манометрическим преобразователем, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, сохранения эффективной скорости откачки и исключения

20 влияния газоотделения манометрического преобразователя на отсчет значения измеряемого потока, в нем дросселирующее устройство вы— полнено в виде-модулятора потока, содержащего подвижную заслонку с приводом, уста25 новленную в трубопроводе последовательно с манометрическим преобразователем.