Электрохимический способ получения тонких слоев сплава теллура с висмутом
Иллюстрации
Показать всеРеферат
О Il И С А Н И Е » 439862
ИЗОБРЕТЕН Ия
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТИЛЬСТВУ
СОюз Советских
Социалистических
Республик (б!) Зависимое от авт, свидетельства— (22) Заявлено 13.10.72 (2!) 1837147/26-25 с присоединением заявки 4е— (32) Приоритет—
Опубликовано 15.08.74. Бюллетень ¹ 30
Дата опубликования описания 18.02.75 (51) М.Кл. Н 011 7/10
С 23b 5/00
Государстваный комите
Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК G21.382(088.8) (72) Авторы изобретен ня
А. И. Алекперов и М. H. Мамедов (71) Заявитель
Институт неортеинческой и физической химин All
Азербайджанской ССР
ФМ "™ и (54) ЭЛ ЕКТРОХИМИЧ ЕСКИ и СПОСОБ ПОЛ УЧ ЕНИЯ
ТОНКИХ СЛОЕВ СПЛАВА ТЕЛЛУРА С ВИСМУТОМ
Предмет изобретения
Известен способ получения тонких слоег, сплава теллура с висмутом, основанный на испарении этого сплава или его компонентов в вакууме с последующей конденсацией паров на поверхности подложки.
Способ требует сложной аппаратуры, осуществляется прн повышенной температуре.
С целью получения достаточно прочной, беспористой и блестящей полупроводниковой пленки сплава теллура с висмутом на платине и титане осаждение осуществляют из неводного раствора, состоящего из ТеСI4, и BIC(q в уксусной кислоте с добавлением LiC!.
Электрохимическое осаждение сплава теллура с висмутом »а платине и титане с целью получения равномерной и компактной пленки проводят из раствора, содержащего 5—
100,илюль/л ТеС!4 и 20 — !15 клюль/г B(Clq в уксусной кислоте.
Процесс электролиза ведется при добавлении и электролит 0,75 лоль/л 11СI и плотности тока 0,5 — 5 ла/слР. Электролиз проводят в стеклянном герметично закрытом электролизере с двумя анодами из платины или графита, прокаленного при 300 — 350 С. Катодом служит титановая или платиновая пластинка. Состав и компактность осадка зависит от соотношения концентрации ТеСI» и BiCI. эл уйтролите.
1-1апример, равномерные плотные слои сплава висмут †телл на платиновой пли титановой основе толщиной до 15 як получают из электролита с соотношением В(СIа . ТеС14 от
25: 1 до 1: 5 при плотности тока до 5 л»а!сси -.
Преимуществом предлагаемого способа является то, что так можно получать более мелкокристаллические, а следовательно, и равномерно покрывающие поверхность катода слои (О сплава висмут †телл при более упрощенной технологии в течение нескольких минут и при комнатной температуре.
1. Элсктрохимический способ получения тонких слоев сплава теллура с висмутом из раствора уксусной кислоты, отлачаюа(пася тем, что, с целью улучшения качества пленки, осаждаемой, например, на платине, осаждение осуществляют из неводного раствора, состоящего из ТеС14 и BiCI: в уксусной кислоте с добавлением LiCI.
2. Способ по п. 1, отлачаюа1айся тем, что осаждение пленки проводят из электролита с соотношением BiC13. ТеСI» от 25: 1 до 1: 5 при суммарной концентрации компонентов
120 льиоль/л и плотности тока от 0,5 до
5 л»а/с,