Способ определения величины потока разряженного газа
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАН ИЕ
ИЗОБРЕТЕН Ия
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 111 440 555
Союз Советских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 10.10.72 (21) 1839101/18-10 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 25.08.74. Бюллетень № 31
Дата опубликования описания 05.03.75 (51) М. Кл. G 011 1/00
G 011 27/00
Государственный комитет
Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК 681.121.8 (088.8) (72) Автор изобретения
E. А. Пенчко (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕЛИЧИНЫ ПОТОКА
РАЗРЕЖЕННОГО ГАЗА
Q=Fdp
Л
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к измерению потока разреженного газа.
Наиболее широко измерение потока разреженного газа производится с помощью калиброванной диафрагмы и двух манометрических преобразователей, установленных по ее сторонам. Перепад давления на диафрагме
Л„умноженный на проводимость диафрагмы
F или деленный на сопротивление диафрагмы течению потока W, характеризует его величину.
Данный способ абсолютен, величина потока зависит только от проводимости диафрагмы F и разности давлений Лр на ней и не зависит от параметров системы.
Однако измерение малых потоков разреженного газа по этому методу требует диафрагм малой проводимости, с тем чтобы разность давления была существенно выше флуктуации отсчетов каждым из манометров. Это резко снижает эффективную быстроту откачки системы.
Цель изобретения — обеспечить высокую газовую проводимость.
Это достигается тем, что поток газа в трубопроводе попеременно частично перекрывают заслонкой то с одной, то с другой стороны манометрического преобразователя, установленного в трубопроводе, измеряют перепад давления на сопротивлении потоку газа, образуемом зазором между заслонкой и
Ьр стенкой трубопровода, и по формуле Q=
W определяют величину газового потока, где Лр — перепад давления на сопротивлении;
W — сопротивление зазора.
На чертеже показана принциш1альная схема реализации предлагаемого с«особа о«ределения величины потока разреженного газа.
1s В канале-трубопроводе 1, по которому «роходит поток газа Q, устанавливается манометрический преобразователь 2 « заслонка 3 с приводом, которая периодически затрудняет прохождение потока газа в канале то с од20 ной стороны манометрического преобразователя 2, то с другой. Таким образом, манометрический преобразователь 2 оказывается «одсоединенным то с одной стороны заслонки 3, то с другой. Зазор между заслонкой 3 и кор25 пусом трубопровода 1 обусловливает величину эквивалентного сопротивления течению газа W. Разность давлений Лр, отсчитанная манометрическим преобразователем 1, деленная на сопротивление течению потока газа W или
30 умноженная на газовую «роводимость в за440555
l
Составитель О. Полев
Техред Т. Миронова
Корректор Л. Котова
Редактор О. Стенина
Изд. № 249 Тираж 760
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Заказ 238/4
Подписное
Типография, пр. Сапунова, 2
3 зоре между стенкой трубопровода 1 и заслонкой 3, определяет величину потока газа Q:
Q = Fhpk, (2) где k — коэффициент, учитывающий соотношение времен, когда заслонка 3 перекрывает проход газа и находится в промежуточном состоянии по пути из одного крайнего состояния в другое. Для каждой конструкции привода заслонки 3 величина k постоянна.
При реализации предлагаемого способа необходимо, чтобы время, в течение которого трубопровод перекрыт заслонкой, было больше постоянной времени выпуска газа из полости манометра или входа газа в нее. Постоянная времени заполнения газом полости манометра имеет величину порядка нескольких миллисекунд. Перекидывание заслонки с частотой в несколько герц обеспечивает определение величины потока по данному способу.
Предмет изобретения
Способ определения величины потока разреженного газа, о тл и ч а ю шийся гем, что, 5 с целью обеспечения высокой газовой проводимости, поток газа в трубопроводе попеременно частично перекрывают заслонкой то с одной, то с другой стороны манометрического преобразователя, установленного в трубопро10 воде, измеряют перепад давления на сопротивлении потоку газа, образуемом зазором между заслонкой и стенкой трубопровода, и по формуле Q= — — определяют величину гаЬр
1Г зового потока, где Лр — перепад давления на сопротивлении;
W — сопротивление зазора.