Стекло для спаивания с кремнием
Иллюстрации
Показать всеРеферат
О П И С А Н И Е ш1 44!24 5
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Фаое 6оветекнл
Сецналнстнческнх
Реслу4лнн
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 21.03.73 (21) 1895118/29-33 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 30.08.74. Бюллетень № 32
Дата опубликования описания 16.07.75 (51) M. Кл. С 03с 3/04
Государственный комнтет
Совета Мнннстров OCCP ло делам нзо4ретеннй н открытий (53) УДК 666.117.9 (088.8) (72) Авторы изобретения
И. К. Немкович, Л. Г. Ясинский и А. А. Левченя
Белорусский ордена Трудового Красного Знамени политехнический институт (71) Заявитель
g д т Б-. (54) СТЕКЛО ДЛЯ СПАИВАНИЯ С КРЕМНИЕМ
1300
1150
940
1100
28,4
2,47
7800
1 012
20.104
5,3 ери веса в %) 0,035
0,025
0,055
0,740
Изобретение относится к составам стекол для спаивания с кремнием и может использоваться для герметизации полупроводниковых приборов и в качестве стекла специального назначения для радиоэлектроники.
Известно стекло для спаивания с кремнием, включающее ЯОь А120З, MgO.
Цель изобретения — повышение температуры размягчения и обеспечение коэффициента термического расширения близкого к коэффициенту термического расширения монокристаллического кремния.
Достигается это тем, что стекло содержит указанные компоненты в следующем количестве, мол.%:
S>Oz 60 — 85
А120з 5 — 25
Мдо 5 — 20.
Пример. Стекло содержит, мол.%: ЯОе
75; А12ОЗ 15; MgO 10. Технология изготовления стекла обычная.
Стекло обладает следующими физико-химическими свойствами.
Температура варки, С 1600
Температура выработки, С 1350 †14
Кристаллизационная способность, С: верхний предел кристаллизации нижний предел кристаллизации
5 Температура размягчения, С
Температура деформации без нагрузки, С
Коэффициент теплового
10 расширения, а 10 град —
Термостойкость, С
Плотность, г/смз
Микротвердость, кг/мм
Модуль упругости, кг/мм
15 Удельное электрическое сопротивление при
200 С, ом.см
Тангенс угла диэлектрических потерь при 20 С
20 и частоте 10 гц
Диэлектрическая проницаемость при 20 С и частоте 106 гц
Химическая устойчивость (пот
25 по отношению к
НО
1 н. НС1
НО3
1 н. NaOH
44!248
Э предмет изобретения
60 — 85
5 — 25
5 — 20.
Составитель М. Стоянова
Техред М. Семенов
Редактор Т. Пилипенко
Корректор В. Брыксина
Заказ 1391/3 Изд. Мз 1219 Тираж 506 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4,5
Типография, пр. Сапунова, 2
Стекло для спаивания с кремнием, включающее Si02, А1зОз, MgO, отл ич а ющ ее с я тем, что, с целью повышения температуры размягчения и обеспечения коэффициента термического расширения близкого к коэффи4 циенту термического расширения монокристаллического кремния, оно содержит указанные компоненты в следующем количестве, мол.%.
310з
А1зОз
Мдо