Алмазно-абразивная паста

Алмазно-абразивная паста

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е пп 441274

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (G1) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 17.07.65 (21) 1019164/25-8 с присоединением заявки № (51) М. Кл. С 09g 1/02

Совета Министров СССР ло лолам изобретеиий и открытий

Опубликовано 30.08.74. Бюллетень Ке 32

Дата опубликования описания 14.04.75 (53) УДК 621.922.079 (088.8) (54) АЛМАЗНО-АБРАЗИВНАЯ ПАСТА

Алмазный порошок

Стеарин

ОП-7

2,5 — 7,5

45 — 50

42,5 — 52,5.

Предмет изобретения

ГосУдаРствеииый комитат (32) Приоригег

Изобретение касается составов для полирования, в частности паст для полирования полупроводниковых материалов.

Известны алмазно-абразивные пасты, в состав которых входят стеарин и жиры или различные масла.

Однако наличие жиров и масел в этих пастах затрудняет отмывание деталей после их обработки от шлама и пасты. Кроме того, наличие большого числа компонентов в пасте делает ее малоустойчивой, как химическая система.

Целью изобретения является повышение чистоты поверхности при обработке полупроводниковых материалов.

Это достигается тем, что в состав пасты введен поверхностно-активный смачиватель

ОП-7, компоненты входят в следующем составе, вес. о..

Алмазно-абразивная паста для полирования, содержащая алмаз и стеарин, о т л и ч а10 ю щ а я с я тем, что, с целью повышения устойчивости системы, а также повышения чистоты поверхности при обработке полупроводниковых материалов, в нее введен поверхностно-активный смачиватель ОП-7, и все компо15 ненты входят в следующем составе, вес. /,:

Алмазный порошок 2,5 — 7,5

Стеарин 45 — 50

ОП-7 42,5 — 52,5.