Способ определения рельефа поверхности
Иллюстрации
Реферат
Союз Советских
Социалистинеских
Уеспублик оц, 441442
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61)Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 02.01.73 (21) 1865787/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет(43) Опубликовано 25.08,75,Бюллетень № 31 (45) Дата опубликования описания 09 12 75 (51) M. Кл.
< 01b 9/00
С 03с S/08
Госудорстоонный номнтет
Совота Мнннстроо СССР по делам нзобротеннй и открытий (53) УДК 531.72:772.
99 (088 8) -- ) 76
@Ц (72) Авторы изобретения
В. С. Листовец и Ю. И. Островский (71) 3asBmeab Ордена Ленина физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ
Изобретение относится к области. опти, ческого контроля рельефа поверхности изделий и может найти применение в машиностроительной и авиационной промышленности, I например, при контроле рельефов поверхностей турбинных лопаток, штампов, шаблонов,, электродов, применяемых для изготовления турбинных лопаток, Известен голографический способ полу. чения контурной рельефной карты поверх- 10 ности изделия при использовании двухдлинноволнового источника когерентного света, например импульсного лазера. Однако при использовании атого способа невозможна плавная перестройка длин волн источника. 15
Лишен атого недостатка голографический иммерсионный способ получения контурной рельефной карты поверхности. По атому способу объект, находящийся в камере с иммерсионной средой, освещают через проз-щ рачное плоское окно и голографируют дважды, изменяя перед второй экспозицией коаффиниент преломления иммерсионной среды.
Чувствительность метода определяется раз.ностью коаффициентов преломления иммер- 35
2 сионной среды между экспозициями, задает1 ся экспериментатором и может меняться в широких пределах. Восстановленная с голограммы интерферограмма представляет собой контурную карту сравнения рельефа поверхности исследуемого объекта с плос- кой внутренней поверхностью окна камеры,, в которой находился объект при голографировании.
Однако, если нужно определить различие рельефов поверхностей двух объектов, на-пример серийного изделия и эталона, то при использовании обоих этих способов необходимо отдельно получить контурные кар- ты рельефа эталона и сравниваемого изделия, по атим картам вычислить рельефы обеих поверхностей, затем определить ° различия рельефов поверхностей и по вычи. сленным данным построить картину отличия рельефа поверхности изделия от релье-, фа поверхности эталона. Эти операции не- достаточно точны, требуют больших временных затрат. !
Бель изобретения — обеспечение непосред
441442 ственной визуализации отличий рельефов поверхностей сравниваемых объектов.
Цель достигается путем оптического сов-, мещения сравниваемых .поверхностей (совмещения световых волн, рассеянных этими поверхностями), помещенных в иммерсион1 ную среду.
На чертеже показана оптическая схема установки для реализации предлагаемого способа.,10
Пучок когерентного света от лазера 1 падает на светоделитель 2. Отраженная от делителя часть пучка поступает в оптическую схему 3 формирования опорного пучка и затем на регистрирующий материал для 15 записи голограммы 4. Пучок света, прошедший сквозь светоделитель 2, попадает в оптическую схему 5, формирующую расширенный параллельный пучок света, поступающий в призменную схему 6, которая служит для 20 одновременного освещения поверхностей обоих сравниваемых объектов 7 и 8, помещенных в иммерсионную камеру 9, и для совмещения на голограмме 4 световых волн, рассеянных этими поверхностями. 25
Голограмму в такой схеме экспонируют дважды, изменяя перед второй экспозицией коэффициент преломления иммерсионной сре ды 10.
Записанная на голограмме муаровая картина, образованная при наложении двух контурных рельефных карт, позволяет при восстановлении с голограммы непосредственно судить об отличиях в рельефах поверхностей сравниваемых объектов.
Предмет изобретения
Способ определения рельефа поверхности путем попеременного голографирования ис-. следуемого объекта, помещенного в иммерсионную среду с различными коэффициентами преломления между экспозициями, о т л и— чающийс я тем, что, сцельюнепосредственной визуализации отличий в релье1 фах поверхностей по крайней мере двух раз- личных объектов, перед записью голограммы
Ъ оптически совмещают поверхности объектов,; помещенных в упомянутую среду..441442
Составитель Е.Халатова
Техред И.Карандашова Корректор НЛебедева
Ред а к тор И.(ардова
Заказ 3Я Д Изд. K ) УЬ Ь Тираж 782 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, 113035, Раушская наб., 4
Предприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24