Способ осаждения металлов и сплавов

Способ осаждения металлов и сплавов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОЛ ИКАНИЕ

ИЗОБРЕТЕМ ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЗТЮЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (11), 443.119 (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 14.08.72 (21) 1822072/

l /с с присоединением заявки-/ 1 (51) М „Кл.

С ЯЗс 11/00

Ткударстеенный намнтет

Совете Мнннстрав СССР не делам нэобретеннй н открытнй (32) ПриоритетОпубликовано б 09.74 Бюллетень № Ж (45).Дата опубликования описания I6; 12.Я (53) УДК, 621.793. 16 (088. 8) (72) Авторы изобретения

fO.È.Êóñàåâ, P.К.Николаев и Н.С.Сидоров

Институт физики твердого тела АН СССР (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛОВ И СПЛАВОВ

Изобретение относится к области получения металлов и сплавов, в частности к осаждению металлов и сплавов на подложке за счет химического восстановления летучих соединений атих металлов водородом.

Известен способ осаждения ме- таллов и сплавов путем восстановления летучих соединений этих металлов водородом посредством подачи водорода и паров летучего соединения по одну сторону подложки, на поверхности которой происходит осаждение металла или сплава.

Предлагаемый способ отличается от известного раздельной подачей водорода и паров летучего соедине-. ния с противоположных сторон подложки, на одной из сторон которой вследствие диффузии водорода через подложку происходит восстановление летучего соединения и осаждение металла или сплава, Это позволяет по высить равномерность осадков по толщине и снизить содержание примесей.

Процесс осаждения осуществляют следующим образом.

5 Водород, являющййся восстановителем, подают под давлением с одной стороны покрываемой поверхности, которая должна быть выполнена из материала, обеспечивающего отно1о сительно высокую скорость диффузии водорода, а летучее соединение наносимого металла - с другой стороны.

Оба пространства герметизируют, и весь объем нагревают до температу15 ры восстановления летучего соединеная. Перенос паров летучего соединения к покрываемой поверхности и отвод газообразных продуктов реакции производят инертным газом. Эа

20 счет диффузии водорода через под ложку на ее противоположной поверхности осаждается металл или сплав.

Для ускорения пропесса его проводят при ваксиьально. высоких

2s теьпературах, обеспечиваицих доста, „,„.„„„,,„, К,Иеран

Р:," .РИ,Корцеи!о i ! Н.Сенина р!- - р Т.Добровольская

Заказ ЯЗ и ра к QgQ!!олпненое!

i!Ill!I! III осула! егвенпо о комн1емi Соне1а Мнннесроа (Х СР оо делам наобретеннй и огкрвпнй

Моеква, !3035, Рауннкан наб., 4/5! !реннрн.мзн:l I >:, Ь!оеквз, !!!1. !и ре:кковскан паб, ?4

3 И3

«точно высокие скорости диффузии водорода и восстановления летучего соединения, а также при повышенном давлении водорода от ? до I5 ати

{с постепенным повышением его по 5 мере роста толщины осаждаемого металла или сплава). Время процесса определяется требуемой толщиной металлического осадка. При получении чистых металлов или сплавов, а так- 1о же изделий, подложка может быть затем удалена. дредложенным способом получают компактные чистые металлы и различные сплавы, однослойные и многослой- 15 ные покрытйя, композиционные материалы и разнообразпые изделия.

Пример I. Для получения осадка чистого никеля в кварцевый реактор загружают никелевую труб- ::2о ку с толщиной стенки 0,I мм и никелевую лодочку с предварительно обезвоженным хлоридом никеля марки

"осч". Реактор продувают аргоном и затем внутрь никелевой трубки пода- 25 ют водород под давлением ?-3 ати

При ныреве ретор до 950 Пообс начинается диффузия водорода через стенку трубки и восстановление паЛ9 ров хлорида никеля до металла. Скорость осаждения никеля 7 г/час. Полученный на внешней стенке трубки осадок никеля имеет ровную гладкую поверхность. Cywapaoe содержание примесей посторонних металлов в осадке 2 IO вес.Я (д исходном хлориде никеля 7 П) " вес.Я).

Пример 2. Для получения сплава никель-медь используют смесь обезвоженных хлорида никеля и однохлористой меди в весовом соотношении.2:I. При 900-970оС формируется осадок сплава Никель-медь с содержанием меди 18%.

ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Способ осаждения металлов и сплавов путем восстановления летучих соединений этих металлов водородом на поверхности подложки, отличающийся тем, что, с целью йовышения равномерйости осадков по толщине и снижения содержания примесей, водород и летучее соединение подают с противоположных сторон покрываемой поверхности.