Способ изготовления мишени накопительной электроннолучевой трубки
Иллюстрации
Показать всеРеферат
„„ 443424
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Сова Сенатских
Социалистических
Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 09.11.72 (21) 1844097/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 15.09.74. Бюллетень № 34
Дата опубликования описания 16.09.75 (51) М. Кл. Н 01j 9/20
Государственный комнте1
Совета Министров СССР ле делам изобретений и открытий (53) УДК 621.385.832.82 (088.8) (72) Авторы изобретения
В. И. Шаблов, С. Г. Доможиров, С. И. Дубовикова, Н. Я. Венедиктов и E. А. Садковская (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИШЕНИ
НАКОПИТЕЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ТРУБКИ
Изобретение относится к способу изготовления мишеней накопительных электронно-лучевых трубок.
Известен способ изготовления мишени накопительной трубки. Он состоит в том, что предварительно обезгаженным путем вакуумной откачки глицерином заполняют ячейки поддерживающей металлической сетки. Для затвердевания глицерина систему охлаждают с помощью жидкого азота. Затем методом термического испарения наносят сплошную пленку алюминия, служащую сигнальной пластиной мишени. Выпаривают глицерин в специальной вакуумной камере, после чего наносят накопительный слой.
Однако этот метод имеет ряд недостатков.
Вязкость глицерина изменяется от партии к партии, что приводит к изменению условий заполнения ячеек сетки и влияет на последующее удаление глицерина. Не полностью удаленный глицерин создает на поверхности сигнальной пластины пятна и разводы, что отрицательно сказывается на передаваемом изображении и воспроизводимости результатов от партии к партии.
Кроме того, использование глицерина требует точного дозирования количества этого материала, контроля температуры и степени его затвердевания.
С целью повышения механической прочности мишени и повышения ее воспроизводимости ячейки металлической сетки заполняют низкомолекулярным органическим соединени5 ем, способным образовывать пленку, например поливиниловым спиртом, а металлический слой наносят методом распыления материалов в плазме газового разряда низкого давления. После этого органическую пленку уда10 ляют, например, растворением и наносят накопительный слой.
Применение воднорастворимого органического соединения позволяет избежать таких операций, как обезгаживание вакуумной от15 качкой и охлаждения с помощью жидкого азота. Кроме того, отпадает необходимость контроля температуры и степени затвердевания заполнителя в виду его способности образовывать пленку.
20 На чертеже схематически представлен разрез мишени накопительной трубки.
В качестве основы мишени накопительной трубки используют мелкоструктурную металлическую сетку 1, натянутую на кольцо, с
25 размером ячейки 30 мк.
Заполнение ячеек 2 сетки производят на оправке, представляющей собой цилиндр с электрополированным торцом из стали
1к,18Н9Т, диаметр которого на 0,05 — 0,07 мм
443424
Предмет изобретения
Составитель Г. Дубровин
Редактор Л. Цветкова Текред H. Куклина Корректоры: С. оолдижар и О. Тюрина
Заказ 2220/4 Изд. № 1544 Тираж 760 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 меньше внутреннего диаметра кольца мишени. На поверхность этого торца наносят 4 — 5 капель 10%-ного водного раствора низкомолекулярного поливинилового спирта, после чего сверху накладывают кольцо с натянутой на него сеткой, Вращением кольца в одну сторону вокруг вертикальной оси производят равномерное заполнение всех ячеек сетки. Оправку с сеткой помещают в термостат, где выдерживают при температуре 120 — 150 С в течение
20 — 30 мин до образования пленки поливинилового спирта.
Сигнальную пластину 3 для увеличения прочности сцепления с сеткой наносят методом ионно-плазменного распыления в камере установки, собранной по трехэлектродной схеме.
Время напыления сигнальной пластины равно 1,5 — 2 мин.
Напряженность магнитного поля в области мишени 120 Э.
Сетку с нанесенной сигнальной пластиной выдерживают в высоком вакууме для остывания пленки до 20 — 25 С, после чего технологическую камеру развакуумируют.
Пленку из поливинилового спирта удаляют из ячеек сетки растворением в дистиллированной воде при температуре 20 — 25 С в течение
25 — 30 мин.
Кольцо с сеткой снимают с оправки и выдерживают в термостате в течение 10 — 20 мин при температуре 120 — 150 С.
Накопительный слой 4 наносят любым из5 вестным способом.
Можно применить и другие низкомолекулярные полимеризующие вещества, легко растворимые не только в воде, но и других жидкостях.
Способ изготовления мишени накопительной электронно-лучевой трубки, предусматри15 вающий нанесение металлического слоя на удаляемую подложку, выполненную из органического материала, отличающийся тем, что, с целью повышения механической прочности мишени и повышения ее воспроизводи20 мости, ячейки опорной мембраны, выполненной из металлической сетки, заполняют легкорастворимым органическим соединением, способным образовывать пленку и не просачиваться сквозь ее ячейки, например, типа по25 ливинилового спирта, напыляют на сетку сплошную металлическую пленку необходимой толщины путем распыления в плазме газового разряда низкого давления, а органическую подложку растворяют.