Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов

Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАН И Е (и)444l32

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Своз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 13.09.72 (21) 1829657/18-10 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25.09.74. Бюллетень № 35

Дата опубликования описания 04.05.75 (51) М. Кл. G 01г 27 00

Государственный комитет

Совета Министров СССР ле делам изобретений и открытий (53) УДК 621.317.73 (088.8) (72) Автор изобретения

Б. А. Наливайко (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО

СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к области измерительной и полупроводниковой техники.

Известно устройство, принцип действия которого основан на использовании светового зонда, возбуждающего неравновесную проводимость в исследуемом образце, в состав которого входят гецератор СВЧ-колебаний, резонатор с исследуемым образцом, устройство, формирующее световой зонд, видеодетектор с сопротивлением нагрузки и индикаторное устройство для измерения напряжения сигнала на сопротивлении нагрузки видеодетектора.

Удельное сопротивление образца с помощью этого устройства определяется по величине напряжения на сопротивлении нагрузки видеодетектора.

Цель изобретения — повысить чувствительность устройства, уменьшить его габариты и вес.

Для этого измерительный резонатор совмещают с резонатором СВЧ-генератора.

11а чертеже представлена блок-схема предлагаемого устройства с помещенным в него исследуемым образцом.

Устройство содержит СВЧ-генератор 1, полупроводниковый диод 2, блок питания 3, емкостный зазор 4, резонатор 5, видеодетектор 6, измерительный блок 7, сопротивление нагрузки 8, световой зонд 9, формирующее устройство 10. В резонатор помещен исследуемый образец 11.

Устройство работает следующим образом.

С помощью светового зонда 9 в участке

5 образца 11 возбуждается неравновесная проводимость, что приводит к изменению добротности и резонансной частоты резонатора 5.

Поскольку мощность и частота генерации генератора 1 определяются добротностью и peIo зонансной частотой резонатора 5, в который помещен активный элемент, то модуляция добротности и резонансной частоты резонатора приводит к амплитудной и частотной модуляции выходной СВЧ-мощности генера15 тора 1, причем глубина модуляции СВЧ-мощности оказывается пропорциональной удельному сопротивлению освещенного участка об р азца 11.

Выходная мощность СВЧ-генератора 1 по20 дается на видеодетектор 6, и на сопротивлении нагрузки 8 с помощью измерительного прибора 7 измеряется напряжение сигнала, пропорциональное удельному сопротивлению освещаемого световым зондом 9 участка об25 разца 11.

Предмет изобретения

Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов, 444132

Составитель В. Скоробогатова

Техред В. Рыбакова

Редактор О. Стенина

Корректоры; А. Николаева и В. Петрова

Заказ 962/10 Изд. ¹ 474 Тираж 678 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам нзооретений и открытий

Москва, %,-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 содержащее СВЧ-генератор подачи смещения на исследуемый образец, блок формирования светового зонда, видеодетектор и измерительный блок, отличающееся тем, что, с целью повышения шения габаритов и тельный резонатор

СВЧ-генератора. чувствительности, уменьвеса устройства, измерисовмещен с резонатором