Прозрачное электропроводящее покрытие

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

\ а алиа ека ivy

О П И С А Н И Е () цццент

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик,,/:" (е ф г 1т

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 09ф08 ° 7I (21)I694039/262 (51) М. Кл, с присоединением заявкп—

Н OIB 5/?4

Гасударстаенный ианитет

Саватв Минисграв СССР па делен изобретении и атнрытий (32) Приоритет— ()публикована 5 ° 09,74зюллетеиь N 35 (ата опуолинования описания05,?074 (53) УДК

62I.793 (088.8) (7") Лвтортн и:тобретенпя

Б.П. Крыжановский и Л.А. Черезова (71) Заявитель (54) ПРОЗРАЧНОЕ ЭЛЕК ЕВРОП РОВОДЯЩЕЕ ПОКРЫ ХИ1

Изобретение может найти применение для изготовления прозрачных электродов и покрытий, служащих для снятия статических зарядов, и выравнивая градиента потенциала на поверхности диэлектРИКОВ

Йзвестные электропроводящие покрытия-металлы, окислы-имеют ограниченную область применения.

В частности, электропроводящие слои /двуонйсь олова, окись индия, окислы воль4рама и молибдена/ не обладают стойкостью к восстановительной среде при повышенной температуре.

Белью изобретения является

ПОВЫШЕНИЕ ЭпЕКтРОПРОВОДНОСтИ И устойчивости к восстановительной атмосФере.

11ель изобретения достигается тем, 1то в качестве токопроводящего материала испоттьзуется слой из микрокомпозиции нитрид ниобия2 двуокись кремния при содержании

0,1-35 вес..,ь двуокиси кремния в слое.

Слой нитрид ниобия — двуокись кремния может быть получен из слоя пятиокись ниобия-двуокись кремния обработкой в токе аммиака при 900ОС. лой смеси пятиокиси ниобия с двуокисью кремния можно нанести на диэлектрическую подложку путем

Гидролиза и спиртового раствора, содержащего пятихлористый ниобий и эти,повый 94ир Ортокремниевой кислоты.

Меняя содержание двуокиси кремния в слое, можно получать покрытия с удельным поверхностным сопротивлением 10 — 101(см.

Светопропускание слоев при увеличении содержания двуокиси кремния увеличивается и для слоя, содержащего З5ф двуокиси кремния /удельное поверхностное сопротивление

Длительное пребывание в воде не меняет свойств покрытия. На возду15

С оставнтель Г ПеТрОЗ>

Ренан "р Ъердвхлебова1екреи Н.Садврдинова1орректо„.. ц П

Лакая

®ВФ т„„, тала

Полпнспое

1!!11!!!!!!! l ос а с уд рственного комитета Совета Министров СССР но делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская наб., 4

11р пп! пятне «!1атспт», Москва, Г-59, Бережковская паб., 24

s.

0,3.101О ом/ составляет 70$ в видймой области спектра.

В условиях вакуума /10-4 мм рт.ст./ и восстановительной атмосферы покрытия из микрокомпозиции нитрид ниобия - двуокись кремния устойчивы до 9ООоС. Они обладают высокой механической прочностью и адгеэией к подлокке

/плавленныи кварц, керундиэ/ .

44425k хе слои устойчивы при нагреве до

500 C

ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕН1И

Прозрачное злектропроводящее покрытие на диэлектриках, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения злектропроводности и устойчивости к восстановительной атмосфере, в качестве

1о токопроводящего материала используется слой из микрокомпозиции нитрид ниобия - двуокись кремния при содеркании О, 1-35 вес.4 двуокиси кремния в слое.