Графитовый нагреватель подложек

Графитовый нагреватель подложек

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЙТВЛЬСТОУ (11), 444834

Союз Советских

СоЧиалистицвских

Реслублик (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено 27. 07. 73 (21 950!00/26-9 о 2Зо ХЗ/т2

t с присоединением заявки—

Гасударственный квинтет

Coanra Мнннстреа СССР

an делан нэабретеннй и аткрытлй (32) ПриоритетОпубликовано 30. 09. ЯБюллетень 1 6 сабудата опубликования описания 15.1274 (53) УЙК

539.2!6.2.002

088.8/ (72) Авторы изобретения

А.С.Седых и B.À.Ñèäoðoâ (71) Заявитель

/54/ ГРАФИТОВЫЙ НАГРИЙТЕЛЬ ПОДЛОЖЕК

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для нагревания подложек микросхем.

Известные графитовые нагреватели подложек, выполненные в виде пластины, электрически соединенной с токопроводами, имеют изотермическую зону, площадь которой существенно меньше общей площади нагревателя, и, следовательно, не позволяет с мпксимальной эффективностью использовать вакуумные установки.

Цель изобретения - расширение изотермической зоны нагревателя.

Это достигается тем, что в теле пластины на участках, прилегахи(их к токопроводам, выйолнены отверстия, поперечное сечение и количество которых выбраны в соответстнии с требуемой температурой нагрева.

На чертеже изображен предлагаемый нагреватель, общий вид.

Нагреватель вйполнен в виде пластины I, электрически соединен2 ной c vozoirgosogakm 2 B xaae ааастины Х выполнены отверстия 3.

Участки пластины, прилегаицие

5 к токопроводам, дополйительно охлаждаются последними, но потери тепла через токопроводы компенсируются выделением относительно больmего количества тепла на участках

1о с .отверстиями, чем на остальных участках пластины. Это объясняется тем, что участки йластины с отверстиями имеют большее погонное сопротивление, чем остальные участки, 5 в то время как через все участки пластины проходит один и тот же электрический ток, При соответствующем выборе размеров и количества отверстий при определенном токе,обуславливающем требуемую температуру, может быть обеспечена изотермичность практически всей площади нагревателя.Это позволяет существенно повысить ароизводительность вакуумной устаноаки;

444834

Составитель В«КРИСКОВ ." " " E корнеева "Р»" й,Ь, Янип "

И. Орлова

Заказ / I flag. М Яф

ffHIfffffH l осударственного комнтета Совета Мнннс ров СССР но делам нзобретеннй н открытий

Москва, f f3035, Раушскан наб., 4

Тира к3 ) Подписное

Иреднрнятне «Иагент», Москва, Г-59, Бережковская нвб., 24

ПРРДМЕТ ИЗОБРИ .ЕНИЯ

Графитовый нагреватель подложек, выполненный в виде пластины, электрически соединенной с токопроводами, отличающийся тем, что, с целью расширения изотермической зоны нагревателя, в теле пластины на участках, прилегающих к токопроводам, выполнены отверстия, поперечное сечение и количество которых выбраны в соответствии с требуемой

5 температурой нагрева.