Устройство для контроля тонкопленочных элементов

Устройство для контроля тонкопленочных элементов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реслублик (11) 445930 (61) Зависимое от авт. свидетельства— (51) М. Кл. Н Olc

17/00 (22) Заявлено 13.02.73 (21) 1882089/26-9 с присоединением заявки № (32)Приоритет—

Государственный комитет

C088Ts Министров СССР ао делам изобретений и открытий (53) УДК 621.317. .332.3 (088.8 ) Опубликовано05.10.74 Бюллетень №37

Дата опубликования описания 05.08.75 (72) Авторы изобретения

А. И. Жаравин, В. А. Стерхов и Н. Д. Токарев (71) Заявитель

Ижевский механический институт (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ

ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ЦЕМЕНТОВ

Изобретение относится к микроэлектронике.

Известны устройства для контроля тонкопленочных элементов, например резисторов, в процессе их вакуумного напыления, 5 содержащие закрепленные в стойке подпру= жпнепные контакты и бл к измерения.

Цель изобретения — повышение надежности и точности устройства — достигается тем, что предлагаемое устройство снабже- 10 но дополнительной парой пружинных кон% тактов, каждый из которых механически связан с закрепленными в стойке подпружиненными контактами и электрически изолировав от них. 15

На чертеже приведено устройство для контроля тонкопленочных элементов.

На основании 1 расположены две стойки.

2 и 3 из изоляционного материала, на каждой из которых закреплено по два пружин- 20 ных контакта 4, 5 и 6, 7, две соединительные планки 8 и 9 из изоляционного материала, каждая из которых механически скрепляет попарно пружинные контакты 6, 7 и 4, 5 соответственно, два микрометрическнх винта 10 и 11, два кронштейна 12 и 13.

Устройство работает следующим образом. При открытой вакуумной камере на расположенное в ней основание 1 помещают подложку 14 с заранее напыленными контактными площадками 15 и 16. Переключатель 17, соединенный с прибором 18 контроля контактов, ставят в положение а.

При этом тумблер 19 разомкнут. Микрометрическим винтом 10 регулируют давление на пружинные контакты 6 и 7 через соединительную планку 8 до тех пор, пока контакты не прикоснутся к контактной площадке 15. Момент возникновения контакта и величина переходного контактного сопротивления регистрируются прибором 18.

После возникновения контакта тумблер 19 замыкается, переключатель 17 переводич ся в положение О, и все операции настройки для правой пары пружинных контактов выполняются в такой же последовательности, как и для левой пары.

Весь блок измерения, состоящий из прибора 18, измерителя сопротивления напы445930

Составитель А. Т уля к ов

T«ðåà И.Карандапюва Корректор II.Ó÷ÿêèíà

Ред ак ro р Б.Федотов

Заказ

Изд. М 3,!ф 1ираж 7бО

Подписное

IlIIHHI (II 1 осударственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, 113035, Раушская наб., 4

11редприятие «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24 ляемой пленки 20, переключателя 17 и тумблеров 19 и 21, располагается за пределами вакуумной камеры.

Предмет изобретения

Устройство дж контроля тонкопленочных элементов, например резисторов, в процессе их вакуумного напыления, содержащее закрепленные в стойке подпружиненные контакты и блок измерения, о т л ичающееся тем, что,сцельюповышения его надежности и точности, оно

5 снабжено дополнительной парой пружинных контактов, каждый из которых механически связан с закреппенными в стойке подпружиненными контактами и электрически изолирован от них.