Способ нанесения металлических покрытий

Способ нанесения металлических покрытий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

пп 446565

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ.Сова Советских Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 04.04.72 (21) 1767996/22-1 с прпсоедпнсш|ем заявки ¹ (32) Hp toðè rc r

Опубликовано 15.10.74. Бюллетень ¹ 38

Дата опубликования описания 06.05.75 (51) М. Кл. С 23с 11/02

Гобудврственный комитет

Совета Министров СССР ло делам изобретений и открытий (53) УДК, 621.793.16 (088.8) (72) Автор изобретения

Ю. В. Желтов (71) Заявитель (54) СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ

Предмет изобретения

Изобретение относится к области нанесения металлических покрытий в газовой фазе.

Известен способ нанесения металлических покрытий термическим разложением паров металлоорганического соединения на нагретой подложке.

По предлагаемому способу металлоорганическое соединение при его испарении нагревают до температуры, превышающей на 5—

10 С температуру начала его терморазложсния. Это позволяет интенсифицировать процесс.

Для сохранения равномерности кпп,.ппя Вс щества в него подают аргон под давлением

0,3 — 0,4 мм рт. ст. Образующиеся газообразные,продукты разложения способствуют повышению количества паров металлоорганического соединения, поступающих к покрываемой поверхности, что интенсифицирует процесс. B этих условиях количество сажистых выделений на стенках испарителя незначительно. Получающееся покрытие отличается хорошей адгезией с подложкой и незпа-пггельным содержанием несвязаппого углерода.

Пример. Для получения хромового покрытия на внутренней поверхности трубки диаметром 6,5 мм последгпою нагревают в вакууме до 450 С.

Жидкое хромоорганическое соединение бисэтилбензолхром нагревают до температуры 235 — 245 С, при которой начинается его терморазложение. Образующиеся газообраз5 ные продукты разложения интенсифицируют испарение металлоорганического соединения и переносят его пары к,покрываемой поверхности. Внутри трубки на ее стенках пары разлагаются с образованием хромового покрытия, прочно сцепленного с основой. Для обеспечения равномерного кипения жидкого металлоорганического соединения в испаритель подают аргон под давлением 0,3 — 0,4 мм рт. ст.

Потери бпсэтилбензолхрома за счет разложейия на стенках испарителя составляют менее

0,1%. Производительность процесса повышается в несколько раз.

Способ нанесения металлических покрытий термическим разложением паров металлоорганического соединения на нагретой подложке, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса, металлоорганическое соединение при его испарении нагревают до температуры, превышающей на 5 — 10 С температуру начала его терморазложения.