Цельнометаллический вакуумный вентиль

Цельнометаллический вакуумный вентиль

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАЙ ИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЙТВДЬСТВУ

Союз Советскнх

Соцналнстнческнх

Реслублнк . (61) Зависимое от авт. свидетельства (51) М КлХХ6К ЗХ/52 (22) Заявлено ХЗе09е 72 (21)7826802/25 8 с присоединением заявки РРВасударственнмй комитет

Соавтв Эйинистров СССР на делам изобретений и аткрытий (32) Приоритет

Опубликовано15 ХО ° 74эюллетень № 38 (45) .Дата опубликования описания18, И,74 (53) ÅÊ 621 а 646 (088.8) (72) Авторы изобретения

К.А.МАКАРОВ (71) Заявитель (54) ЦЕЛЬНОМЕТАЛЛИЧЕСКИЙ ВАКУУМНЫЙ ВЕНТИЛЬ

Вакуумный вентиль предназначен для работы в высоковакуумных электронно-лучевых приборах типа электронного микроскопа с независимой дифференциальной откачкой отдельных блоков, где не требуется большой пропускной способности канала, но необходимо освобождение канала вентиля от затвора и других деталей в открытом положении уст-,0 ройства, а канал служит для пропускания пучка электронов в ыаправ лении оси прибора.

Известен цельнометаллический вакуумыый вентиль с освобождающимся каналом, содержащий корпус с седлом, клапаы и шток.

Для повышения надежности и упрощения конструкции предлагаемого вентиля его клапан устаыовлвн на поворотном двухопорыом кронштей " не, ось поворота которого совпадает с осью штока привода и перпендикулярна оси канала вентиля.

На фиг.I дан предлагаемый вентиль, продольный разрез по оси симмвтрйи; на фиг.2 — устаыовка

2 возвратыой пружины на кольце штока; на фиг.3 - упор ограничения поворота кроыштвйна; на фиг.4вентиль общий вид в аксонометрической проекции. Вентиль изображеы в закрытом йоложении.

Перекрываемый каыал I с седлом расположен в фланцв 2 корпуса 3 вентиля. Клапан Ф с вкладышем 5 вставлен в отверстие поворотного двухопорного кронштейыа 6, который свободно устаыовлеы ыа штоке 7 с помощью опорных coper 8.

Шток 7, проходя с одыой стороны корпуса через патрубок 9, с другой стороны лежит в глухом отверстии выполненыом в стенке корпуса 3. gIa выходе к штоку 7 приварен сильфон

ХО, который другим концом приварен к флаыцу И, установленному ыа фланце патрубка 9. Ось поворота кронштейна 6 совпадает с осью штока 7, которая перпвыдикулярна оси канала 1 вентиля. В выточке штока

7 установлена разрезная втулка 12, шарнирно соединенная с тягой Х3, которая также через шарнир связана

4467П) 35

3, с рычагом КО, упирающимся в торец хвостовика клапана Ф. Хвостовик клапана Ф прикреплен к рычагу Х4 с помощью кольца I5. Ось верхнего шарнира тяги I5 расположена правее оси вентиля и клапана Ф, образуя рычаг для поджатия клапана седлу. Свободный конец рычага I4 вставлен в вырез кронштейна б и подпружинен снизу цилиндрической пружиной Хб, установленной в гнезде.

Ось J7, пропущенная через фигурное отверстие в рычаге ЕФ, закреплена концами на стенках выреза кронштейна 6 не позволяя смещаться рычагу М в горизонтальном направлении. Установочные кольца

I8 и упор I9 служат для фиксации положения клапана Ф относительно седла канала I. Упор I9 закреплен на торцовой перегородке фланца 2 с помощью винтов. Кронштейн 6 прижат к упору I9 плоской пружиной 20, соединеннои с кольцом 2I, которое жестко посажено на штоке 7. Палец кольца 2I вместе с фигурным вырезом в правой по чертежу серьге 8 кронштеи*на 6 составляет кулачковый механизм, служащий для поворота кронштеййа б вокруг оси штока 7. В теле штока 7 выполнено отверстие 22, ось которого пааллельна оси канала I вентиля. егулировка упора производится болтом-гайкой 23, 24.

При открыванйи вентиля шток 7 выдвигается из патрубка 9. При этом тяга Ы отводит рычаг ХФ и клапан Ф вниз. При дальнейшем поступательном движении штока 7 палец кольца 21 входит в паз серьги

8 и упирается в наклонную стенку паза, Под действием усилия, пере5

1О

25 зо

4 даваемого через палец от штока 7 на серьгу 8, кронштейн б поворачивается и отводит клапан Ф, рычаг Ы и тягу l3 в сторону, освобождая канал f. вентиля. Шток клапана Ф в это время продолжает утапливаться в отверстии кронштейна б. В крайнем положении штока 7 отверстие 22 устанавливается соосно с каналом 1 вентиля. При закрывании вентиля шток 7 подают внутрь патрубка 9. Палец кольца 2Х постепенно выходит из паза серьги 8, давая возможность кронштейну 6 поворачиваться под деиствием возвратной пружины 20 вокруг штока 7.

Кронштейн 6 подводится к упору I9, а палец кольца 21 выходит из паза серьги 8. В это время тяга Х3 поднимает рычаг Х4 и клапан Ф вверх, в результате чего вкладыш 6 клапана ч подходит к рабочей кромке седла и запирает канал Х вентиля.

Благодаря тому, что свободный конец рычага Ы опирается на пружину

Хб, осуществляется упругая опора конца рычага ХФ и обеспечивается постоянство усилия поджатия клапана Ф к седлу.

ПРЕДМЕТ NBOEPETRHNH

Цельнометаллический вакуумный вентиль с освобождающимся каналом, содержащий корпус с седлом клапай и шток, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и упрощения конструкции, клапан установлен на поворотном двухопорном кронштейне, ось поворота которого совпадает с осью штока привода и перпендикулярна оси клапана вентиля.

:1; к;а ЗУРН!!агг, № 5)P ирки; Я Д

Подписное

IlIIIlllllil !осу,чари асиного комитета Совета Мииистрон СССР

IIo ii(лим изоб!и:TcllIiit и открытий

Иоскпи, 1!3035, Раугиская наб., 4

111 ии! наги «! I Ill нг>:, Москна, -59, Бережкоиская иаб., 24

;-;.;., В. Караулов

Ре, а, 1, Л.ВаСИЛЬКОВа текреи Е ПОТ1!0)3а