Травитель полиимида

Травитель полиимида

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИС

ИЗОБРЕТЕНИЯ п 4468 70

Сова Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 24.08.72 (21) 1822428/23-4 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15.10.74. Бюллетень № 38

Дата опубликования описания 25.06.75 (51) М. Кл. G 03c 5/48

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.79.025.2 (088.8) ло делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения В. Д. Скуковская, А. М. Егорова, P. А. Морозова и Г. А. Блинов (71) Заявитель (54) ТРАВИТЕЛЬ ПОЛИИМИДА

Предмет изобретения

Изобретение относится к области пленочной микроэлектроники и может быть использовано при создании переходных отверстий в полиимидной пленке для многослойной разводки.

Известен травитель полиимида на основе гидразин-гидрата, обеспечивающий достаточную равномерность травления, однако, невысокая скорость травления приводит к разрушению защитной пленки фоторезиста, если толщина пол и имидной пленки превышает

30 мкм, что приводит к подтравливанию элементов.

С целью увеличения скорости процесса травления и повышения качества вытравливаемых фигур в предлагаемом травителе полиимида на 16 — 20 вес. ч. гидразин-гидрата добавляют 1 — 2 вес. ч. щелочи, например едкого калия. Травитель не разрушает защитной пленки фоторезиста, используемой в качестве маски в процессе травления, и одновременно улучшает качество вытравливаемых фигур в полиимиде за счет увеличения скорости травления, которая составляет 24 мкм/

/мин при 60 — 70 С (по сравнению с 2 мкм/мин в чистом гидразин-гидрате).

Пример. На чертеже показан график зависимости скорости травления полиимида от температуры в травителе 1 гидразин-гидрат

16 — 20 вес. ч., едкий калий 1 — 2 вес. ч.; в

5 травителе 2 гидразин-гидрат.

Кривые 1 и II соответствуют изменению скорости травления полиимида от температуры в травителях 1 и 2.

Скорость травления полиимида в травите10 ле 1 выше скорости травления в гидразингидрате в 8 — 10 раз. Время травления полиимида в травителе 1 при 60 С вЂ” 1,5 — 2 мин, причем фоторезистивная маска не разрушается, а время травления в гидразин-гидрате

15 10 мин, причем наблюдается частичное разрушение пленки фоторезиста.

Травитель полиимида на основе гидразингидрата, отличающийся тем, что, с целью увеличения скорости процесса травления и повышения качества вытравливаемых фигур, 25 на 16 — 20 вес. ч. гидразин-гидрата добавляют

1 — 2 вес. ч. щелочи, например едкого калия, с ч 446870 мин

12 /о ба ВО

Составитель В. Никольский

Техред И. Карандашова

Корректоры: Л. Денисова и 3. Тарасова

Редактор В. Новоселова

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 1389/18 Изд. № 1285 Тираж 506 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5