Кристаллизующееся стекло для спаивания с кремнием

Кристаллизующееся стекло для спаивания с кремнием

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

<««1 447380

Союз Соввтских

Соц««а«тмстичвск««x

ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Р«есп.= блик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 15.03.73 (21) 1893366/29-33 с присоединением заявки №вЂ” (32) Приоритет

Опубликовано 25.10.74. Бюллетень № 39

Дата опубликования описания 13.10.75 (51) М. Кл. С 03с 3/22

Государственно«й комите

Совета М««нистров СССР оо делам изаоретений и открытий (53) УДК 666.117.9 (088.8) (72) Авторы изобретения

А. М. Равич, А. Д. Солинова и Е. И. Рогова (71) Заявитель (54) КРИСТАЛЛИЗУЮЩЕЕСЯ СТЕКЛО ДЛЯ СПАИВАНИЯ

С КРЕМНИЕМ

Предмет изобретения

Изобретение относится к составам кристаллизующихся стекол для спаивания с кремнием и может использоваться при изготовлении интегральных схем с диэлектрической изоляцией компонентов.

Из«вестно кристаллизующееся стекло для спаивания с кремнием, включающее SiO, А1зОз, ZnÎ и ÂàO.

Цель изобретения — улучшение адгезии к кремнию и снижение температуры спаивания.

Это достигается тем, что стекло содержит указанные компоненты в следующих количествах, вес. :

$«Оз 39 — 46

А1зОз 15 — 22

ZnO 10 — 20

ВаО 21 — 30

Стекло может быть иллюстрировано следу«ощим конкретным примером, содержащим компоненты в следующих количествах, вес, %:

$«Оз 43,6

А1зОз 15,9

ZnO 16,7

ВаО 23,8

Это стекло кристаллизуется при 1150 С в течение 45 — 60 мин, хорошо спаиваясь при этом с монокристаллами кремния. Стрела прогиба конструкции при толщине кремния 0,3 мм, покрытия 0,5 мм и при диаметре пластины 30 мм ие превышает 10 — 15 мкм и не меняется в процессе дальнейшей термообработки.

Свойства закристаллизованного стекла сле5 дующие:

Коэффициент термического расширения — а 10 1/ C в интервале температур

20 — 700 С 36 — 37

Химическая стойкость 1 гидролитиче ский класс

Оптимальная температура спаивания с кремнием 1150 С

Время термообработки 45 мин.

Кристаллизующееся стекло для спаивания с кремнием, включающее SiO, А1зОз, ZnO, 20 ВаО, отличающееся тем, что, с целью улучшения адгезии к кремнию и снижения температуры спаивания, оно содержит указанные компоненты в следующих количествах, вес, %:

25 $10з

А1 Оз

ZnO

ВаО