Вакуумная электротермическая установка
Патент 447442
Авторы
Вакуумная электротермическая установка
Иллюстрации
Реферат
О П И -.. .,И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
<» 447442
Сова Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства ,(22) Заявлено 30,08.73 (21) 1955031. 22-2 с присоединением заявки № (32) Приоритет
Опубликовано 25.10.74. Бюллетень № 39
Дата опубликования описания 14.04.75 (51) М. Кл. С 21с 5/56
Н 05b 7/18
Государственный комитет
Совета Министров СССР (53) УДК 621.365.9 (088.8) по делам изобретений н открытий (72) Авторы изобретения А. Л. Емельянов, В. Л. Емельянов, Е. Л. Зельвянский, Ю. В. Рогов, Э. В. Фарбер, В. А. Хотин и П. Б. Яковлев (71) Заявитель (54) ВАКУУМНАЯ ЭЛЕКТРОТЕРМИЧЕСКАЯ УСТАНОВКА
Изобретение относится к электротермии и может использоваться в установках для вакуумной обработки материалов, использующих различные источники нагрева: электронный луч, дуговой раз ряд в вакууме и другие источники.
Известна электроннолучевая термическая установка, оборудованная вакуумной системой, включающая диффузионный насос Н20Т и бустерные насосы БН вЂ” 450. Система насосов обеспечивает в рабочей камере вакуум до
1 10 — мм,рт ст
Однако п ри типовых повышениях давления в рабочем объеме в известной установке происходит срыв работы вакуумных насосов.
Цель изобретения — расширить диапазон рабочих давлений в рабочей камере.
Это достигается за счет того, что установка снабжена регулируемыми диафрагмами, установленными в вакуумпроводах.
Предлагаемая установка изображена на чертеже.
Она включает рабочую камчу 1, содержащую объект нагрева 2, являющиеся источником газовыделения. К рабочей камере 1 подсоединена вакуумная система 3, сообщающаяся с рабочей каме рой 1 посредством вакуумпровода 4, содержащая, например один высоковакуумный насос. В последний встроена регулируемая диафрагма 5 с п риводом 6, орабатывающим по сигналу датчика давления 7, установленного на входном патрубке насоса и электрически связанного с приводом 6 диафрагмы 5 через схему сравнения 8 и электронный регулятор 9. Диафрагма 5 выполнена, например, плоской пластинчатой консцрукции, обеспечивающей в полностью открытом состоянии максимальную проводимость вакуумпровода и позволяющую полностью пере10 к рыть сечение вакуумпровода в закрытом состоянии.
Установка работает следующим образом.
Пока давление у входного патрубка системы 3 не превышает заданного, сигнал, посту15 пающий на электронный регулятор 9 через схему сравнения 8, имеет такую полярность, при которой привод 6 диафрагмы 5 полностью ее открывает (до ограничителей хода) так, что сечение вакуумпровода 4 максимально и объ20 емная скорость откачки системы 3 соответствует п|редельно возможной. При повышении давления в камере 1 и, соответственно, у. датчика 7 сверх допустимого, сигнал от схемы сравнения 8 меняет полярность, в результате
25 чего электронный регулятор 9 включает п ривод 6 на закрывание диафрагмы вплоть до момента, когда сигнал на входе регулятора будет нулевым. Этот момент будет соответствовать, вне зависимости от давления в рабочей
ЗО камере 1, оптимальному давлению (с точки
447442
Предмет изобретения
Составитель T. Морозова
Редактор Л. Лашкова Техред В. Рыбакова Корректор Л. Орлова
Заказ 926/14 Изд. № 453 Тираж 591 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 зрения массовой производительности насоса) у входного патрубка вакуумной системы. При этом изменяется характеристика высоковакуумной системы насос — рабочая камера.
1. Вакуумная элект1ротермическая установка, содержащая рабочую камеру с датчиками давления, соединенную через вакуумпровод с вакуумным насосом, отличающаяся тем, что, с целью расширения, рабочего диапазона давлений в рабочей камере, она снабжена установленной в вакуумпроводе регулируемой
5 диафрагмой.
2. Установка по и. 1, отличающая ся тем, что датчики давления в рабочей камере электрически связаны с приводом диафрагмы через схему сравнения и электронный регуля10 тор.